1.什么是質(zhì)量流量計(jì)？什么是質(zhì)量流量控制器？質(zhì)量流量計(jì) ， 即MassFlowMeter（縮寫為MFM）,它是一種精確測(cè)量氣體流量的儀器 ， 測(cè)量值不會(huì)因?yàn)闇囟然驂毫Φ牟▌?dòng)而不準(zhǔn)確 ， 不需要溫度和壓力補(bǔ)
1. 什么是質(zhì)量流量計(jì)？什么是質(zhì)量流量控制器？
質(zhì)量流量計(jì) ， 即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 它是一種精確測(cè)量氣體流量的儀器 ， 測(cè)量值不會(huì)因?yàn)闇囟然驂毫Φ牟▌?dòng)而不準(zhǔn)確 ， 不需要溫度和壓力補(bǔ)償 。
質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不僅具有質(zhì)量流量計(jì)的功能 ， 更重要的是 ， 它可以自動(dòng)控制氣體流量 ， 即用戶可以根據(jù)自己的需求設(shè)置流量 ， MFC自動(dòng)保持流量恒定在設(shè)定值 ， 即使系統(tǒng)壓力波動(dòng)或環(huán)境溫度變化 ， 并且不會(huì)偏離設(shè)定值 。簡(jiǎn)短地說,流量控制器是一個(gè)流量穩(wěn)定裝置, 它是一種氣體流量穩(wěn)定裝置 ， 可手動(dòng)設(shè)定或連接電腦自動(dòng)控制 。
2. 流量控制器的原理是什么？
流量控制器包括一個(gè)流量傳感器、通道分流、流量調(diào)節(jié)閥和放大控制器等 。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(不需要溫度和壓力補(bǔ)償) 。傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)被送到放大器進(jìn)行放大, 將放大的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 然后放大差值信號(hào)來(lái)控制調(diào)節(jié)閥 ， 通過通道的閉環(huán)流量被控制為等于設(shè)定流量 。確定主通道的流量 。與質(zhì)量流量控制器配套的流量指示器配有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位計(jì), 外設(shè)、內(nèi)置開關(guān)和三位閥控開關(guān)等 。
3. 如何理解質(zhì)量流量計(jì)/質(zhì)量流量控制器的流量單元？
氣體質(zhì)量流量的單位通常如下sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,標(biāo)準(zhǔn)毫升每分鐘）和slm（Standard Liter per Minute,標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘）來(lái)表示 。這意味著 ， 在不同的使用條件下 ， 這種儀器 ， 指示的流都是處于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)的流 。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)指定如下: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K) 。這是該儀表與其他流量計(jì)的一個(gè)重要區(qū)別 ， 也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處 。
對(duì)于大多數(shù)用戶來(lái)說 ， 流量的表達(dá)方式符合習(xí)慣﹑使用方便 ， 但是 ， 有些用戶需要知道單位時(shí)間內(nèi)媒體流動(dòng)的質(zhì)量（如g/min）,這個(gè)要求很容易實(shí)現(xiàn) 。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是常數(shù), 很容易找到 ， 所以簡(jiǎn)單做個(gè)乘法（將密度乘以幾slm）是可以實(shí)現(xiàn)的 。所以說,標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量相當(dāng)于質(zhì)量流量 。
應(yīng)該注意的是, 被世界各地的質(zhì)量流量控制器制造商普遍采用sccm/slm這個(gè)質(zhì)量流量單位, 不符合國(guó)內(nèi)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的常見國(guó)際質(zhì)量流量單位（Kg/min）, 但符合國(guó)際半導(dǎo)體協(xié)會(huì)制定的規(guī)定SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn) 。
4. 質(zhì)量流量計(jì)應(yīng)該在什么情況下使用, 在什么情況下應(yīng)該使帶質(zhì)量流量控制器 ?
一般而言 ， 當(dāng)只測(cè)量或監(jiān)控流量時(shí) ， 帶質(zhì)量流量計(jì)；當(dāng)需要流量控制時(shí) ， 帶質(zhì)量流量控制器 。一些測(cè)量場(chǎng)合 ， 兩個(gè)都可以用 ， 例如毛細(xì)流動(dòng)能力的測(cè)量,當(dāng)在恒定壓力下測(cè)量流量時(shí), 帶質(zhì)量流量計(jì); 在恒定電流下測(cè)量壓力時(shí), 需要帶質(zhì)量流量控制器 。注意, 當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清潔狀態(tài)時(shí), 它也可以用作質(zhì)量流量計(jì), 但壓降比普通質(zhì)量流量計(jì)大 。
5. 質(zhì)量流量計(jì) / 流量控制器的主要優(yōu)點(diǎn)是什么？
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