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sccm和ml/min sccm和ml/min的關(guān)系( 三 )

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注意使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)蒸汽時(shí), 不能讓蒸汽進(jìn)入MFC中結(jié)露, 冷凝會(huì)影響MFC的正常工作 。為了防止冷凝, 可用于管道和MFC適當(dāng)加熱, 但MFC一般情況下 ， 工作環(huán)境溫度不得超過(guò)50℃ 。如果用戶想要MFC的工作環(huán)境溫度超過(guò)65℃以上, 需要專門購(gòu)買高溫MFC產(chǎn)品 。
10. 流量控制器可以用來(lái)控制腐蝕性氣體和特殊氣體嗎? 如何選擇密封材料?
流量控制器可用于控制各種氣體, 包括腐蝕性氣體和特殊氣體, 但是要小心, 對(duì)于腐蝕性氣體和特殊氣體, 需要選擇合適的型號(hào)和密封材料 。訂購(gòu)時(shí), 需要向供應(yīng)商特別聲明使用氣體, 因?yàn)殄e(cuò)誤的選擇或密封材料, 造成嚴(yán)重?fù)p失 。
通常 ， 接觸工作氣體的氣體質(zhì)量流量控制器的濕材料是316L不銹鋼、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料分為金屬密封和橡膠密封兩大類 。金屬密封材料一般是不銹鋼、或者抗腐蝕材料 ， 例如金和鎳 。金屬密封的MFC原則上 ， 它可以用于任何氣體, 包括各種腐蝕性氣體和特種氣體 。對(duì)于三溴化硼、三氯化硼、氟化氫和其他腐蝕性氣體MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議最好金屬密封的MFC 。
因?yàn)榻饘倜芊釳FC價(jià)格更高, 通常要求不高的場(chǎng)合, 由橡膠密封MFC 。如果沒(méi)有特別說(shuō)明, MFC用氟橡膠密封, 可用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體, 例如 ， 它可用于鹵素干燥氣體 ， 如氯化氫 。其他特殊腐蝕性氣體, 需要特殊的橡膠 。氨氣——需要耐氨橡膠, 例如乙烯-丙烯橡膠、氯丁橡膠或丁晴橡膠; 有機(jī)溶劑蒸汽環(huán)境(丙酮、甲苯等)——需要硅橡膠; 三溴化硼、三氯化硼、異氟化氫——需要全氟橡膠 。
11. 在選擇和訂購(gòu)產(chǎn)品時(shí)需要注意什么？
這關(guān)系到用戶的切身利益 ， 也涉及到很多問(wèn)題 ， 所以 ， 我們盡量吉祥﹑客觀的回答 。
(1) 注意選擇合適的品牌
一般應(yīng)當(dāng)全面衡量生產(chǎn)廠家的產(chǎn)品質(zhì)量﹑零售價(jià)﹑售后﹑工程水平﹑產(chǎn)品特性﹑生產(chǎn)能力﹑企業(yè)信譽(yù)等因素 。
(2) 注意選擇正確的范圍
A. 把你需要的流量轉(zhuǎn)換成標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量（質(zhì)量流量） 。
B. 根據(jù)制造商提供的質(zhì)量流量換算系數(shù)表 ， 將您使用的氣體的質(zhì)量流量值轉(zhuǎn)換為氮?dú)猓ㄐ?zhǔn)氣體）等效質(zhì)量流量值 。如果你想根據(jù)你實(shí)際使用的氣體進(jìn)行校準(zhǔn) ， 請(qǐng)向制造商解釋 。關(guān)于質(zhì)量流量換算系數(shù)的問(wèn)題 ， 下面有進(jìn)一步的回答 。
C. 確定所需的標(biāo)準(zhǔn)范圍 。制造商通常有自己的各種規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)量程 ， 您實(shí)際使用的最大流量應(yīng)該低于某個(gè)標(biāo)準(zhǔn)范圍值 。標(biāo)準(zhǔn)范圍的選擇應(yīng)避免過(guò)大或過(guò)小 。流量的誤差指數(shù)由滿量程值的百分比指定 ， 如果實(shí)際流速很小而范圍值太大 ， 測(cè)量值的相對(duì)誤差較大 。
(3) 注意正確的工作壓力指數(shù)
不同產(chǎn)品的工作壓力指數(shù)可能不同 ， 注意選擇適合自己的產(chǎn)品 。
質(zhì)量流量控制器（MFC）除了最大工作壓力之外 ， 工作壓力還有另一個(gè)指標(biāo)：工作壓差 ， 即MFC進(jìn)氣口和出氣口之間的壓差 ， 注意選擇 ， 用的時(shí)候要注意 。
(4) 注意選擇合適的精度指標(biāo)
準(zhǔn)確度﹑線性﹑重復(fù)精度是一個(gè)重要的指標(biāo) ， 其中 ， 重復(fù)精度在很多應(yīng)用中尤為重要 。指標(biāo)不一定是最高的 ， 考慮自己的實(shí)際需求 。
如果你對(duì)制造商給出的指標(biāo)不放心 ， 有條件的用戶也可以自行校準(zhǔn) 。校準(zhǔn)方法參見以下相關(guān)內(nèi)容 。
(5) 注意選擇合適的響應(yīng)時(shí)間指標(biāo)
有些應(yīng)用系統(tǒng)是對(duì)的MFC的響應(yīng)時(shí)間有很高的要求 ， 用戶要根據(jù)自己的情況來(lái)考慮 。當(dāng)考慮響應(yīng)時(shí)間指數(shù)時(shí) ， 還應(yīng)注意其響應(yīng)過(guò)程和動(dòng)態(tài)特性 。

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