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sccm和ml/min sccm和ml/min的關(guān)系( 二 )


(1) 流量測量和控制不會因為溫度或壓力的波動而不準(zhǔn)確 。
對于大多數(shù)流量測量和控制系統(tǒng) , 難以避免系統(tǒng)的壓力波動和環(huán)境、介質(zhì)的溫度變化 。對于普通的流量計 , 而壓力和溫度的波動會導(dǎo)致較大的誤差;對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器 , 一般可以忽略 。
(2) 測量自動化
質(zhì)量流量計 / 流量控制器可以將流量測量值作為標(biāo)準(zhǔn)電信號輸出 。這就很容易實現(xiàn)交通的數(shù)字化顯示﹑累積流量的自動計量﹑自動數(shù)據(jù)記錄﹑計算機管理等 。對于質(zhì)量流量控制器 , 還可以實現(xiàn)流量的自動控制 。通常, 模擬的MFC/MFM輸入信號是0~+5V或4~20mA, 數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通信端口, 和電腦連接很方便, 進行自動控制 。
(3) 精確定量地控制流量
質(zhì)量流量控制器可以精確地控制給定的氣體量 , 這對于許多過程的流量控制非常重要﹑這對于不同氣體的比例控制特別有用 。
(4) 應(yīng)用范圍廣
工作壓力范圍很寬 , 我們的產(chǎn)品范圍從真空到10MPa; 它可以應(yīng)用于各種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體 , 如HCL);流量范圍很寬 , 我們產(chǎn)品的最小流量范圍可以達(dá)到0~5 sccm , 最大流量范圍可以達(dá)到0~200 slm 。流量顯示的分辨率可以達(dá)到滿刻度0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% (范圍比率-- 50:1), 因此它被廣泛應(yīng)用于許多領(lǐng)域 。
6. 質(zhì)量流量計的缺點是什么? 使帶質(zhì)量流量控制器最害怕什么?
與廉價的轉(zhuǎn)子流量計相比, 質(zhì)量流量計的主要缺點是價格昂貴 。
使帶質(zhì)量流量控制器有四怕:
對灰塵的第一恐懼, 如果灰塵進入流量計 , 會堵塞傳感器和分流器, 導(dǎo)致測量誤差, 要求在進氣口前安裝一個過濾器;
二是怕液體和油進入MFC, 會造成失控, 如果MFC出口連接有液體罐, 需要在MFC添加出口止回閥, 防止液體回流;
第三 , 害怕使用潮濕的腐蝕性氣體, 潮濕的腐蝕性氣體會使不銹鋼生銹, 造成MFC通道損壞, 因此 , 要求在使用腐蝕性氣體之前, 到氣體和MFC管道是干的;
第四 , 使用中怕強腐蝕性、易燃易爆、等待有毒有害氣體時 , 不要按照安全規(guī)則操作, 可能造成產(chǎn)品損壞和其他更嚴(yán)重的損失 。正確使用, 安全操作, 對每個用戶來說都是最重要的 。
7. 質(zhì)量流量控制器操作壓差范圍是什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥, 該閥門可以將通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作過程中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生空氣壓降, 即壓差 。MFC操作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 如果壓力差低于最小值(0.1 MPa), 控制可能無法達(dá)到滿量程值; 如果它高于最高值(0.3MPa), 當(dāng)有可能關(guān)閉時 , 流量不應(yīng)小于2%F.S 。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 一定要讓MFC氣體入口端和出口端之間的壓差應(yīng)保持在要求的壓差范圍內(nèi), 而且氣壓要相對穩(wěn)定 。
8. 高壓下如何使用流量控制器?
質(zhì)量流量控制器操作壓差范圍通常很小, 高壓下正常使用要特別注意三點: 第一, 需要選擇滿足要求的耐壓MFC; 第二, 需要選擇工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 第三, 要在MFC在氣體前增加減壓閥, 穩(wěn)定的進氣壓力, 在MFC下游背壓閥, 穩(wěn)定反應(yīng)室 , 并MFC出口處的氣壓, 適當(dāng)調(diào)整減壓閥和背壓閥, 要保證MFC工作壓差不會超過規(guī)定范圍 。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作 。
9. 使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)蒸汽, 氣壓很低, 如何定制質(zhì)量流量控制器的低壓降產(chǎn)品?
部分用戶使用揮發(fā)性液體蒸發(fā)蒸汽做氣源(例如丙酮), 氣壓很低, 用普通MFC, 無法正常工作 。這時 , 用戶需要向供應(yīng)商特別說明, 低壓降的定制質(zhì)量流量控制器 。通常 , 可以定制工作壓差低于0.01MPa的MFC, 這時MFC操作壓差范圍, 也會變小 。

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