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sccm和ml/min sccm和ml/min的關(guān)系( 五 )

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16. 不同氣體的質(zhì)量流量怎么換算？
產(chǎn)品出廠時(shí)一般用氮?dú)庑?zhǔn)﹑按氮?dú)饬髁看_定流說(shuō)明 。使用相同的規(guī)格MFM/MFC測(cè)量不同的氣體 ， 當(dāng)流量檢測(cè)值相同時(shí) ， 的實(shí)際流量值可能不同 。我們?cè)谡f(shuō)明書(shū)中給出了不同氣體相對(duì)于校準(zhǔn)氣體（氮?dú)猓┵|(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù) 。
如果您使用的產(chǎn)品是標(biāo)準(zhǔn)的工廠產(chǎn)品（按氮?dú)庑?zhǔn)顯示） ， 當(dāng)需要知道實(shí)際使用的氣體的質(zhì)量流率時(shí) ， 首先 ， 在產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)中找到實(shí)際氣體的換算系數(shù) 。在測(cè)量過(guò)程中 ， 將該系數(shù)乘以流量顯示值 ， 即為實(shí)際使用氣體的質(zhì)量流量；反之 ， 當(dāng)確定購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品的范圍時(shí) ， 將實(shí)際使用的氣體的最大預(yù)期流量除以換算系數(shù) ， 即相應(yīng)氮?dú)庑?zhǔn)產(chǎn)品的流量值 。
空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體 ， 其換算系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮?dú)庑?zhǔn)顯示的產(chǎn)品 ， 沒(méi)有轉(zhuǎn)換 。
17. 不同氣體的流量換算系數(shù)是如何得到的? 如何計(jì)算混合氣體的換算系數(shù)?
氣體流量轉(zhuǎn)換系數(shù)理論上取決于標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下氣體的密度和比熱, 和氣體的分子組成系數(shù) 。常用的單組分氣體 ， 轉(zhuǎn)換系數(shù)可在制造商的產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)中找到；如果氣體的密度和比熱已知, 也可以通過(guò)以下基本公式計(jì)算 。
氣體質(zhì)量流量轉(zhuǎn)換系數(shù)C的基本公式：
C=0.3106 N /ρ(Cp)
其中： ρ——是氣體的密度
CP——是氣體在恒壓下的比熱
N ——是氣體分子組成系數(shù)（它與氣體分子的組成有關(guān), 見(jiàn)下表）
氣體分子組成系數(shù)表
氣體分子組成 舉 例 N 取 值
單原子分子 Ar He 1.01
二原子分子 CO N2 1.00
三原子分子 CO2 NO2 0.94
多原子分子 NH3 C4H8 0.88
如果是多組分混合氣體（假定由n物種氣體成分） ， 根據(jù)以下公式計(jì)算轉(zhuǎn)換系數(shù)C：
0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) + ??? + Nn (ωn/ωT )]
C = ————————————————————————
ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ ρ2Cp2 (ω2/ωT )+ ??? + ρnCpn (ωn/ωT)
其中 : ω1 …ωn ——是相應(yīng)氣體的流量
ωT ——是混合氣體的流量
ρ1…ρn ——是相應(yīng)氣體的密度 (數(shù)值見(jiàn)產(chǎn)品技術(shù)規(guī)范)
CP1…CPn ——是相應(yīng)氣體在恒壓下的比熱 (數(shù)值見(jiàn)產(chǎn)品技術(shù)規(guī)范)
N1 … Nn ——是相應(yīng)氣體的分子組成系數(shù)
注意: 如果混合氣體的混合比不固定, 無(wú)法計(jì)算轉(zhuǎn)換系數(shù) 。
18. MFM/MFC使用時(shí)有什么注意事項(xiàng)？
(1)注意產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)和相關(guān)資料
(2) 小心輕放 ， 確保安全
MFM/MFC相對(duì)精確 ， 避免撞擊和強(qiáng)烈振動(dòng) 。產(chǎn)品不使用時(shí) ， 請(qǐng)將其保存在良好的環(huán)境中 。
(3) 注重制度設(shè)計(jì)
用戶購(gòu)買(mǎi)MFM/MFC后 ， 通常有必要建立一個(gè)系統(tǒng) 。建議在系統(tǒng)設(shè)計(jì)中 ， 不要只考慮功能的實(shí)現(xiàn) ， 還要考慮系統(tǒng)的可靠性﹑安全性﹑易操作性﹑易于維護(hù)﹑擴(kuò)展性和其他因素 。以下是一些具體的建議：
A. 注意加濾鏡 ， 凈化氣源 ， 延長(zhǎng)MFM/MFC的使用壽命 。
B. 對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng) ， 建議在MFC的出氣端加裝單向閥 ， 從而防止異常情況下反應(yīng)物的回流破壞 MFC 。
C. 對(duì)于高壓系統(tǒng) ， 應(yīng)在MFC背壓閥安裝在下游（或其他節(jié)流裝置）和壓力計(jì) ， 以便確保MFC工作壓差 。
D. 對(duì)于暴露在空氣中時(shí)容易形成晶體的氣體 ， 例如硅烷 ， 特別注意系統(tǒng)的緊密性（檢漏時(shí)不要忽視減壓器） ， 必要時(shí)設(shè)計(jì)吹掃旁路 ， 隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯祾呋蛘龎壕S護(hù) 。
E. 對(duì)于要求高的氣路系統(tǒng), 注意氣路接頭的減少和采用VCR等接頭 。對(duì)于使用有害氣體的系統(tǒng) ， 必須嚴(yán)格檢漏 。氣體柜應(yīng)該有排氣系統(tǒng), 防止人員和設(shè)備受損 。

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