1、光刻機(jī)又名掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)、曝光系統(tǒng)、光刻系統(tǒng)等，是制造芯片的核心裝備 。它采用類似照片沖印的技術(shù)，把掩膜版上的精細(xì)圖形通過(guò)光線的曝光印制到硅片上 。光刻機(jī)的種類可分為：接觸式曝光、接近式曝光、投影式曝光 。
【光刻機(jī)是干嘛的】2、光刻機(jī)的工作原理是通過(guò)一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過(guò)畫著線路圖的掩模，經(jīng)物鏡補(bǔ)償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上 。然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖 。
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