1、難在它的制造精度 ， 為了便于形象地解釋 ， 光刻機(jī)制造芯片的過程就相當(dāng)于“沖洗照片” 。設(shè)計(jì)好的集成電路的電路圖相當(dāng)于照片的“拍攝的內(nèi)容” ， 晶圓就相當(dāng)于“相紙” ， 光刻機(jī)的其它機(jī)構(gòu)就相當(dāng)于與照相機(jī)的“鏡頭機(jī)構(gòu)” 。
2、不同的是洗照片是將照片放大呈現(xiàn)到相紙上 ， 制造芯片是將設(shè)計(jì)的集成電路微縮到晶圓上拇指大小的區(qū)域內(nèi) ， 而且電路的投影精度達(dá)到了納米量級(jí) 。
【光刻機(jī)到底難在哪里】3、光刻機(jī)的加工過程 ， 光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展已經(jīng)發(fā)展到了紫外光階段 ， 我們就以紫外光為例說明 。光刻機(jī)加工芯片的過程簡單地講就是 ， 光源提供的紫外光照射到刻著電路設(shè)計(jì)圖的掩模板上 ， 紫外光透過掩模板后進(jìn)入物鏡 ， 物鏡將掩模板上的電路圖大比例的縮小后 ， 將電路投影到硅片上 ， 這樣硅片上就刻下設(shè)計(jì)好的電路圖 ， 這個(gè)過程中曝光臺(tái)和測(cè)量臺(tái)處于聯(lián)動(dòng)的狀態(tài) 。
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