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眾所周知，隨著中國制造向中國智能制造的轉(zhuǎn)變，中國已經(jīng)超過美國成為全球最大的芯片消費(fèi)國，世界芯片制造產(chǎn)業(yè)也不可避免地向中國轉(zhuǎn)移。雖然中國每年進(jìn)口的芯片超過了3000億美元，正在建設(shè)的晶圓廠也達(dá)到了57個(gè)，芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展得如火如荼，但是芯片制造最關(guān)鍵的環(huán)節(jié)光刻機(jī)卻成了我國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展的死穴。因?yàn)橹袊荒苌a(chǎn)90nm以上低端光刻機(jī)，而先進(jìn)的高端光刻機(jī)都掌握在國外廠商手里，甚至有錢也買不到。

春節(jié)前夕，荷蘭ASML總裁Peter Wennink在ASML公司財(cái)報(bào)發(fā)布會(huì)上表示：中國永遠(yuǎn)無法模仿高端光刻機(jī) 。這句話一方面是在回應(yīng)美國擔(dān)心高端光刻機(jī)交付中國后可能造成的技術(shù)失竊問題，另一方面也是在告訴中國，中國是有著知識(shí)產(chǎn)權(quán)領(lǐng)域良好信譽(yù)的國家，而且中國繞不開ASML的技術(shù)專利。長期以來，限于美國和歐洲簽訂有瓦森那協(xié)議，歐洲廠商不得把最先進(jìn)的光刻機(jī)賣給中國，而且必須有美國發(fā)放的銷售許可證，所以中芯國際2018年訂購的最先進(jìn)的EUV光刻機(jī)至今無法起運(yùn)回國。

那么中國真的造不出高端EUV光刻機(jī)嗎？答案是肯定的，目前我國確實(shí)造不出這樣的高端EUV光刻機(jī) 。雖然中ASML高調(diào)表示，即使沒有美國的許可證也要賣給中國，但同時(shí)也表示：我們正在等待政府的許可證，如果最終等不到許可證，我們會(huì)將設(shè)備轉(zhuǎn)賣給其他客戶。由此看來，我們不僅造不出這樣的高端EUV光刻機(jī)，即便想買到也沒有這么容易，中芯國際訂購的光刻機(jī)就是一個(gè)明顯的例子。

高端EUV光刻機(jī)制造真的這么難嗎？
據(jù)了解，ASML的高端EUV光刻機(jī)有80000個(gè)零部件， 13個(gè)子系統(tǒng)，每一個(gè)子系統(tǒng)都是融合了該領(lǐng)域最頂尖的先進(jìn)的技術(shù) ，更何況ASML還擁有全球獨(dú)一無二的芯片曝光技術(shù)，這也是高端EUV光刻機(jī)的核心技術(shù) 。ASML之所以不怕中國模仿是因?yàn)樗麄儼讶蚝脦装偌覐S商的頂尖技術(shù)融為一體，進(jìn)行了有有效的技術(shù)和系統(tǒng)集成，而且還在設(shè)備上安裝有傳感器，能夠自動(dòng)檢測異常行為，也就是說，你要想深入研究設(shè)備的構(gòu)造和組成，ASML總部就會(huì)報(bào)警。

目前，全球高端光刻機(jī)被ASML、尼康、佳能所壟斷，2018年全球高端光刻機(jī)總計(jì)出貨374臺(tái)，其中ASML的高端光刻機(jī)銷售量120臺(tái)，10nm以下的EUV光刻機(jī)更是占據(jù)了全球100%的市場，甚至就連佳能、尼康幾乎已經(jīng)退出10nm以下光刻機(jī)的市場。但是中國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展如火如荼，卻沒有高端光刻機(jī)的支持，這也是為什么中國芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展緩慢的原因之一。