目前搞光刻機(jī)的國(guó)家和企業(yè)不少,荷蘭的ASML當(dāng)然是一枝獨(dú)秀,基本壟斷了目前高端光刻機(jī)的市場(chǎng),基本上40nm以下的制程,廠商都愿意采用ASML的光刻機(jī) 。日本的佳能、尼康在光刻機(jī)產(chǎn)品上也算做得不錯(cuò),尼康甚至能生產(chǎn)號(hào)稱最大支持7nm制程的EUV光刻機(jī) 。當(dāng)然國(guó)內(nèi)的廠商至少在我們認(rèn)知中也在努力,比如上海微電也在研發(fā)支持28nm制程的光刻機(jī) 。

【中國(guó)首臺(tái)光刻機(jī)哪一年產(chǎn)的 國(guó)產(chǎn)28nm的光刻機(jī)最新現(xiàn)狀】不過(guò)荷蘭ASML的地位顯然短期內(nèi)是無(wú)法動(dòng)搖的 。ASML正抓緊研發(fā)下一代高數(shù)值孔徑極紫外光(high-NA EUV)光刻機(jī) 。之前AMSL透露,其存量EUV客戶均訂購(gòu)了新一代裝置,也就是之前購(gòu)買ASML EUV光刻機(jī)的芯片制造廠商,都已經(jīng)在ASML下一代光刻機(jī)上下了訂單,除了我們已知的Intel和臺(tái)積電,包括三星、海力士、美光等廠商也都已經(jīng)購(gòu)買了ASML下一代光刻機(jī),只是按照順序等ASML生產(chǎn)裝配后發(fā)貨 。
雖然因?yàn)榻?jīng)濟(jì)形勢(shì)導(dǎo)致整個(gè)半導(dǎo)體的行情不是太好,但是這些有能力生產(chǎn)芯片的廠商還是知道,至少在光刻機(jī)上的錢不能省,購(gòu)買ASML下一代高端光刻機(jī),這是讓自己保持技術(shù)優(yōu)勢(shì)的前提 。目前普通EUV能生產(chǎn)3nm工藝的芯片,未來(lái)想要進(jìn)一步突破物理墻,就要靠ASML的下一代高端光刻機(jī)了 。

這其中第一臺(tái)high-NA-EUV光刻機(jī)是被Intel所購(gòu)買,據(jù)悉會(huì)在2024年部署,2025年開始量產(chǎn)芯片,所以Intel也對(duì)自己的等同于1.8nm的芯片工藝信心滿滿 。而臺(tái)積電將于2024年引進(jìn)下一代光刻機(jī),估計(jì)也會(huì)在2nm及以下的工藝制程上 。三星集團(tuán)則表示要購(gòu)買10臺(tái)下一代光刻機(jī),預(yù)備未來(lái)擴(kuò)充記憶體、晶圓代工的產(chǎn)能可以擴(kuò)大 。
根據(jù)一些信息透露,目前UEV光刻機(jī)的單臺(tái)售價(jià)已經(jīng)接近2億美元,而下一代光刻機(jī)的單臺(tái)售價(jià)更是達(dá)到了4億美元,折合人民幣大概27億元 。很顯然在未來(lái)很長(zhǎng)一段時(shí)間中,ASML將繼續(xù)在光刻機(jī)領(lǐng)域維持自己的優(yōu)勢(shì) 。盡管歐洲、日本一些廠商都表示要研發(fā)自己的2nm芯片工藝,但大概率也是購(gòu)買ASML的設(shè)備才行 。

至于大家關(guān)心的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),可生產(chǎn)90nm制程的光刻機(jī)其實(shí)很早就已經(jīng)研發(fā)出來(lái),并號(hào)稱通過(guò)了驗(yàn)收,但實(shí)際上我們之前了解的情況是只有一家廠商購(gòu)買了這種光刻機(jī),而且也不是用于生產(chǎn),更像是面子工程 。這種光刻機(jī)據(jù)悉是倒推ASML之前老技術(shù)的光刻機(jī)而來(lái),說(shuō)是國(guó)產(chǎn)但是大多數(shù)零部件也是從國(guó)外采購(gòu),而且由于技術(shù)原因,無(wú)論是良率和產(chǎn)能,都可以忽略不計(jì),完全無(wú)法商用 。
之前也有消息說(shuō)上海微電自己研發(fā)的可支持28nm制程的光刻機(jī),已經(jīng)算是成功,這給了不少國(guó)人信心 。但遺憾的是,據(jù)悉這種國(guó)產(chǎn)28nm的光刻機(jī)甚至無(wú)法通過(guò)檢驗(yàn),目前不說(shuō)商用,能否達(dá)到正常使用都還是兩說(shuō) 。有小道消息表示,華為挖走了上海微電不少工程師,這個(gè)說(shuō)法肯定是沒(méi)有官方回應(yīng)的 。但可以肯定的是,目前所謂的國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),是無(wú)法銷售給芯片制造廠商使用的,國(guó)內(nèi)的芯片代工廠商未來(lái)只能繼續(xù)依賴海外的設(shè)備 。

盡管我們一直表示要發(fā)展國(guó)內(nèi)的芯片產(chǎn)業(yè),但說(shuō)實(shí)話這部分差距的確非常大,技術(shù)能力和制造能力和海外整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈相比,絕非一朝一夕可趕上,只能慢慢努力,而且還要考慮海外在技術(shù)發(fā)展上的速度,甚至連先進(jìn)一些的國(guó)產(chǎn)芯片都還得靠海外的EDA設(shè)計(jì)軟件才能實(shí)現(xiàn) 。最后我們只能表示拋開幻想腳踏實(shí)地吧,憑借喊口號(hào)是沒(méi)法彌補(bǔ)巨大的差距的!
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