【中國有光刻機(jī)嗎2018 中國有光刻機(jī)嗎】中國有光刻機(jī)，位于我國上海的SMEE已研制出具有自主知識產(chǎn)權(quán)的投影式中端光刻機(jī)，形成產(chǎn)品系列初步實(shí)現(xiàn)海內(nèi)外銷售 。正在進(jìn)行其他各系列產(chǎn)品的研發(fā)制作工作 。
光刻機(jī)（Mask Aligner）是制造微機(jī)電、光電、二極體大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備 。其分為兩種，一種是模板與圖樣大小一致的contact aligner，曝光時(shí)模板緊貼晶圓；另一種是利用類似投影機(jī)原理的stepper，獲得比模板更小的曝光圖樣 。高端光刻機(jī)被稱為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”，制造難度很大，全世界只有少數(shù)幾家公司能制造 。
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