【什么是光刻機(jī) 什么是光刻機(jī)?它用來做什么?】
光刻機(jī)又名：掩模對(duì)準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)等 。
常用的光刻機(jī)是掩膜對(duì)準(zhǔn)光刻 ， 所以叫MaskAlignmentSystem 。
一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、刻蝕等工序 。
Photolithography（光刻）意思是用光來制作一個(gè)圖形（工藝）；在硅片表面勻膠 ， 然后將掩模版上的圖形轉(zhuǎn)移光刻膠上的過程將器件或電路結(jié)構(gòu)臨時(shí)“復(fù)制”到硅片上的過程 。
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