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鹽酸能用于干法刻蝕嗎

【鹽酸能用于干法刻蝕嗎】

鹽酸能用于干法刻蝕嗎


鹽酸能用于干法刻蝕,因為在非酸性乙酰丙酮中 , 第三族氮化物和碳化硅很難濕法蝕刻,通常使用干法蝕刻 。干法刻蝕的刻蝕劑是等離子體,是利用等離子體和表面薄膜反應(yīng) , 形成揮發(fā)性物質(zhì),或直接轟擊薄膜表面使之被腐蝕的工藝 。鹽酸是氯化氫的水溶液,工業(yè)用途廣泛 。鹽酸的性狀為無色透明的液體,有強(qiáng)烈的刺鼻氣味 , 具有較高的腐蝕性 。濃鹽酸具有極強(qiáng)的揮發(fā)性,因此盛有濃鹽酸的容器打開后,氯化氫氣體會揮發(fā),與空氣中的水蒸氣結(jié)合產(chǎn)生鹽酸小液滴 。

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