四氟化硅是氣體 。四氟化硅是一種無色、有毒、有刺激性臭味的氣體，對眼、皮膚、粘膜和呼吸道有嚴重損害，其易潮解，在潮濕空氣中可產生濃煙霧，生成硅酸和氟化氫兩種物質 。
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