【佳能光刻機(jī)多少納米】
佳能光刻機(jī)22納米，光刻機(jī)是制造微機(jī)電、光電、二極體大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備 。光刻機(jī)可以分鐘兩種，分別是模板和圖樣大小一致的contact aligner，曝光時(shí)模板緊貼芯片；第二是類似投影機(jī)原理的stepper，獲得比模板更小的曝光圖樣 。
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