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國產首臺28nm關鍵尺寸電子束量測量產設備出機

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國產首臺28nm關鍵尺寸電子束量測量產設備出機

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國產首臺28nm關鍵尺寸電子束量測量產設備出機


【國產首臺28nm關鍵尺寸電子束量測量產設備出機】該設備在電子光學系統、運動平臺、電子電路和軟件等方向實現了完全自研 。
近日 ， 國產首臺28納米關鍵尺寸電子束量測量產設備在錫成功出機 。 電子束晶圓量檢測設備是芯片制造領域除光刻機外 ， 技術難度最大、重要程度最高的設備之一 。
此次出機的28納米關鍵尺寸電子束量測量產設備 ， 由無錫亙芯悅科技有限公司自主研制 ， 在電子光學系統、運動平臺、電子電路和軟件等方向實現了完全自研 ， 能有效解決我國半導體量檢測領域關鍵核心難題 ， 對于填補我國集成電路產業關鍵環節空白、提高國產芯片高端裝備自主可控水平具有里程碑意義 。
CD-SEM（關鍵尺寸量測設備）主要是通過對于關鍵尺寸的采樣測量 ， 實現對IC制造過程中 ， 光刻工藝后所形成圖形尺寸進行監控 ， 以確保良率 。
官網顯示 ， 無錫亙芯悅科技有限公司是由中國科學院院士 ， 中國工程院院士 ， 經驗豐富的工程技術專家 ， 業界公司創辦人共同發起成立的 ， 是一家專注于研發、制造和生產半導體前道量測與檢測設備的公司 。 前道量測與檢測設備是半導體新技術開發和半導體制造良率控制的至關重要的設備 ， 亙芯悅研發涵蓋物理學、數學、自動化、精密機械、計算機等多個領域 ， 研發團隊于2022年12月榮獲了無錫市新吳區飛鳳人才計劃“創業頂尖人才團隊”榮譽 。
圖源：無錫亙芯悅科技官網
無錫亙芯悅科技公司提供全系列半導體關鍵尺寸掃描電子顯微鏡 (CD-SEM) 產品 ， 滿足不同半導體制造工藝的量測需求 ，從研發到大規模生產 ， 提供精準、高效的工藝控制解決方案 。 公司自落地無錫高新區以來 ， 在研項目始終保持較高水平的研發投入 ， 目前公司多款前道量測與檢測產品已進入關鍵性能優化和市場推廣階段 。
2030年 ， 中國電子束量檢測設備預計將達到28.80億美元電子束量測主要用于芯片生產過程中的關鍵尺寸在線測量和關鍵設備（光刻機、涂膠顯影設備等）的性能監控 ， 得益于電子束成像帶來的高分辨率 ， 它能準確地對顯影后檢查和刻蝕后檢查的關鍵尺寸進行量測 ， 監測產線各類生產流程中晶圓關鍵尺寸的穩定性 。
電子束量檢測設備基于掃描電子顯微鏡（SEM）技術 ， 其中包括EBI、DR-SEM、CD-SEM設備 。
在先進制程領域 ， 電子束量檢測設備憑借極高的分辨率與精度、對深層結構和材料對比的敏感性、獨特的電性缺陷識別能力等技術優勢 ， 滿足不斷縮小的特征尺寸、日益復雜的結構和材料、以及對良率和效率的嚴苛要求 。
在先進封裝領域 ， 電子束量檢測設備能夠較好地應對多層、三維復雜結構檢測挑戰 ， 實現高密度互連的尺寸量測 ， 以及電性缺陷的早期識別與診斷等 。
而CD-SEM專注關鍵尺寸量測 ， 該設備不直接參與缺陷檢測 ， 而是聚焦于關鍵尺寸的精準測量確保制程參數與設計要求一致 。

根據相關統計 ， 2024年 ， 全球半導體電子束量檢測設備市場規模達到23.83億美元 ， 而中國該市場規模為8.54億美元 ， 2020-2024年期間的復合增長率高達22.54% ， 遠高于全球市場增速 。 預計到2030年 ， 中國半導體電子束量檢測設備市場規模將達到28.80億美元 ， 占全球市場的50%左右 。
全球電子束量測設備市場集中度較高 ， 歐美、日本企業處于壟斷地位 ， 根據VLSI數據統計 ， 2023年全球半導體量檢測設備行業CR5超過84% ， 主要包括KLA、應用材料、日立等 ， 其中科磊半導體市占率高達55.8% 。 值得一提的是 ， 科磊半導體幾乎涵蓋所有前道檢測產品 ， 覆蓋率超過90% ， 應用材料及創新科技在前道檢測產品覆蓋率也超過60% ， 而多數國產廠商在前道檢測產品覆蓋率在20%-30% 。
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