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西方禁售中國(guó)EUV光刻機(jī)?清華大學(xué)換道超車(chē)直接研發(fā)光刻工廠!( 二 )


西方禁售中國(guó)EUV光刻機(jī)?清華大學(xué)換道超車(chē)直接研發(fā)光刻工廠!


清華大學(xué)SSMB同步輻射光源是一個(gè)大型的科學(xué)裝置,其原理是利用一臺(tái)周長(zhǎng)100-150米的環(huán)形加速器加速電子,產(chǎn)生EUV光源,再通過(guò)激光約束產(chǎn)生的EUV光,讓其成為波長(zhǎng)穩(wěn)定的高品質(zhì)EUV光源 。這樣的EUV光源功率比起Cymer公司激光等離子體(LPP)技術(shù) , 高了40倍,也就是說(shuō)這樣一個(gè)光源,就能提供數(shù)十臺(tái)EUV光刻機(jī)工作需要 。這樣只要圍繞在這個(gè)光源上安裝光刻機(jī),就能完美解決EUV光刻機(jī)被卡脖子的問(wèn)題 。
舉個(gè)簡(jiǎn)單的例子 , ASML公司的光源好比一個(gè)燒水壺,這個(gè)燒水壺能精確控制要燒的水到80度的溫度,而清華大學(xué)SSMB光源則好比我們燒一個(gè)鍋爐的水,然后讓熱水流入一個(gè)100米的管道,管道中就能流出100度到0度所有溫度的水 , 你需要多少度的水,自己在這個(gè)管道中安個(gè)龍頭就能獲得了 。所以理論上SSMB除了產(chǎn)生EUV光,其他波長(zhǎng)更短的光源也都能獲得 。
唯一的問(wèn)題只是在于,采用SSMB光源技術(shù)很難做到小型化 。因此,所有光刻機(jī)必須依附在這個(gè)光源系統(tǒng)上 , 也就是從光刻機(jī)變成了光刻工廠 。而且其能耗比起使用ASML的激光等離子體(LPP)技術(shù)更大 。但是中國(guó)生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)僅僅是需要解決美歐卡脖子的問(wèn)題,又不是要對(duì)外出售,體積大并不是問(wèn)題,我們只要能穩(wěn)定生產(chǎn)出最終的3納米、2納米芯片就可以了 。而電費(fèi)高點(diǎn) , 對(duì)中國(guó)也不是事,畢竟中國(guó)的發(fā)電量占全球的30%,幾座光刻工廠所消耗的電費(fèi)對(duì)中國(guó)來(lái)說(shuō)完全不是問(wèn)題 。
因此,當(dāng)清華大學(xué)將這項(xiàng)技術(shù)發(fā)表在《NATURE》正刊之后 , 歐美國(guó)家立馬破防了 。他們?cè)趺匆矝](méi)想到,中國(guó)居然不按套路出牌,并沒(méi)在ASML現(xiàn)有技術(shù)方向追趕 , 而是直接換道超車(chē),用他們沒(méi)有意料的方式輕易解決了EUV光源難題 。ASML公司總經(jīng)理溫克寧近日在接受電視采訪時(shí)稱“中國(guó)有14億人,而且聰明的人很多 , 他們能想到我們未想到的解決方案,我們對(duì)他們光刻機(jī)的封鎖是在迫使他們提升創(chuàng)新能力,我們之前太自以為是了!”
西方禁售中國(guó)EUV光刻機(jī)?清華大學(xué)換道超車(chē)直接研發(fā)光刻工廠!


【西方禁售中國(guó)EUV光刻機(jī)?清華大學(xué)換道超車(chē)直接研發(fā)光刻工廠!】由此,我們可以看出以目前中國(guó)的科技實(shí)力,美歐國(guó)家妄圖通過(guò)技術(shù)封鎖而控制中國(guó)科技進(jìn)步的舉動(dòng) , 都將是徒勞 。很快美歐國(guó)家的“工業(yè)皇冠上的明珠”都會(huì)被中國(guó)摘下!

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