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在中美科技戰(zhàn)大背景下，荷蘭ASML公司的EUV光刻機(jī)對中國完全禁售，就算是中芯國際5年前已經(jīng)付款訂購的那臺EUV光刻機(jī)，ASML也拒絕交付。目的很明顯，就是要卡住中國先進(jìn)制程芯片技術(shù)之路。如今中國EUV光刻機(jī)研發(fā)傳出了好消息，清華大學(xué)換道超車，研發(fā)了SSMB光源技術(shù)，通過高能加速器對電子加速，最后輸出千瓦量級的EUV光，最高可以達(dá)到3納米制程，整體輸出功率比荷蘭ASML的EUV光刻機(jī)強(qiáng)40倍，這樣一套光源系統(tǒng)，就能同時支持?jǐn)?shù)十臺EUV光刻機(jī)生產(chǎn)，因此利用SSMB光源將成為國產(chǎn)光刻機(jī)換道超車的關(guān)鍵技術(shù) 。

西方禁售中國EUV光刻機(jī)？清華大學(xué)換道超車直接研發(fā)光刻工廠！

自從2018年美國針對中國開展貿(mào)易戰(zhàn)、科技戰(zhàn)以來，美歐國家對中國的EUV光刻機(jī)完全禁售。中國由于無法拿到先進(jìn)的EUV光刻機(jī) ，因此只能購買ASML的DUV光刻機(jī)，通過多次曝光技術(shù) ，盡可能創(chuàng)造條件生產(chǎn)先進(jìn)制程芯片。但是DUV光刻對硅片進(jìn)行多次曝光之后，芯片的良率又受到很大影響。因此盡管中芯國際擁有梁孟松這樣的業(yè)界大牛，但是巧婦難為無米之炊，沒有EUV就沒辦法生產(chǎn)先進(jìn)的5納米芯片。梁孟松曾經(jīng)對外公布過，中芯國際早在3年前就掌握了7納米制程的FINFET制程工藝，而更先進(jìn)的GAAFET的制程工藝前期的技術(shù)驗證準(zhǔn)備已經(jīng)完成，只等購買到EUV光刻機(jī)，就能開啟5納米及以下制程工藝生產(chǎn) 。而EUV光刻機(jī)的禁售也讓中芯國際的先進(jìn)制程推進(jìn)受到很大影響，只能在DUV光刻機(jī)上打磨N+2制程工藝，實現(xiàn)7納米芯片商業(yè)化。
ASML公司拒絕出售EUV光刻機(jī) ，那么中國只能立足于自主研發(fā)EUV光刻機(jī) 。EUV光刻機(jī)被西方譽為“工業(yè)皇冠上的明珠”，是凝聚西方百年工業(yè)的結(jié)晶。ASML公司CEO溫克寧曾經(jīng)說過“就算給中國光刻機(jī)圖紙，中國也制造不出EUV光刻機(jī)!”，西方國家的傲慢心理可見一斑。因為一臺EUV光刻機(jī)有十萬個零件組成，其中EUV光源由美國Cymer公司提供，光學(xué)系統(tǒng)由德國的蔡司公司提供，ASML則負(fù)責(zé)集成這些組件并制造出最先進(jìn)的EUV光刻機(jī) 。因此ASML公司CEO說出這樣的話也說明，他認(rèn)為全世界任何一個國家都無法獨立制造EUV光刻機(jī) 。

EUV光刻機(jī)最核心的技術(shù)包括光源系統(tǒng)、物鏡系統(tǒng)和工作臺系統(tǒng)這三方面。其中EUV光源系統(tǒng)又是最核心的技術(shù) 。EUV光又叫極紫外光，目前世界上能穩(wěn)定制造商業(yè)化EUV光源系統(tǒng)的國家只有美國，美國Cymer公司通過激光等離子體（LPP）技術(shù)，即用二氧化碳激光每秒5萬次去轟擊液態(tài)錫滴，將其激發(fā)成高溫等離子體，從而發(fā)射出極紫外光。原理本身不復(fù)雜，但是EUV光源技術(shù)要達(dá)到商用化，必須要具備一定的輸出功率。Cymer公司經(jīng)歷多年發(fā)展，目前其EUV光源已經(jīng)從最初只能輸出10瓦左右的功率，增加到了250瓦以上的功率，并且保持了較高的穩(wěn)定性和可靠性。讓EUV光刻機(jī)能夠?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)級別的效率和性能。該技術(shù)也是世界上目前唯一能夠提供商用EUV光源的全球供應(yīng)商。
荷蘭ASML對中國禁售EUV光刻機(jī)，也正是因為EUV光源技術(shù)掌握在美國公司手里，如果美國不提供EUV光源，ASML的EUV光刻機(jī)就無法生產(chǎn)出來。因此中國要研制EUV光刻機(jī)，首要問題就是要突破EUV光源技術(shù) 。憑心而論，要做到美國Cymer公司這樣的技術(shù)確實有困難，也許需要5-10年時間去研發(fā)和改進(jìn)，才能達(dá)到商業(yè)化的目的。但是我們條條道路通羅馬，產(chǎn)生EUV光的技術(shù)又不僅僅只有激光等離子體（LPP）技術(shù)這一條路。清華大學(xué)此次的SSMB光源技術(shù)就是應(yīng)用了另外的一條路徑，也能穩(wěn)定產(chǎn)生高品質(zhì)的EUV光。