在加工芯片的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段 ， 將光束透射過畫著線路圖的掩模 ， 經(jīng)物鏡補償各種光學(xué)誤差，將線路圖成比例縮小后映射到硅片上 ， 然后使用化學(xué)方法顯影，得到刻在硅片上的電路圖 。
【amsl工作原理】在半導(dǎo)體芯片制造設(shè)備中，投資最大、也是最為關(guān)鍵的是光刻機，光刻機同時也是精度與難度最高、技術(shù)最為密集、進步最快的一種系統(tǒng)性工程設(shè)備 。光學(xué)光刻技術(shù)與其它光刻技術(shù)相比 ， 具有生產(chǎn)率高、成本低、易實現(xiàn)高的對準(zhǔn)和套刻精度、掩模制作相對簡單、工藝條件容易掌握等優(yōu)點，一直是半導(dǎo)體芯片制造產(chǎn)業(yè)中的主流光刻技術(shù) 。
推薦閱讀
- 九陽豆?jié){機加熱是什么原理
- 減壓過濾的原理是什么
- 單線工作模式的定義
- 鏡子反射原理的介紹
- 監(jiān)理的工作目標(biāo)是什么
- 正點原子門鎖工作原理
- 空調(diào)的工作原理 空調(diào)工作原理是什么
- 怎樣提升講話稿的高度 為工作實踐提供科學(xué)有力的指導(dǎo)
- 紅衣大炮炮彈爆炸原理
- 明礬凈水原理方程式