首先是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)技術(shù)實(shí)現(xiàn)多項(xiàng)突破 ， 老美感受到危機(jī) 。從哈工大的超高速精密激光干涉儀 ， 到上海微電子的28nm光刻機(jī)的研制 ， 老美感受到我國(guó)光刻機(jī)技術(shù)的飛速發(fā)展 。為了限制我國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展老美采用了微軟的那套方式 ， 讓我國(guó)暫緩光刻機(jī)的研發(fā) 。
其次是上海微電子的SEMM光刻機(jī)價(jià)格便宜不到2000萬元 ， 有價(jià)格優(yōu)勢(shì) 。和ASML動(dòng)輒1億美元光刻機(jī) ， 尼康、佳能幾千萬美元的光刻機(jī)相比 ， 上海微電子的SEMM光刻機(jī)更具性價(jià)比 。
最后是我國(guó)的上海積塔半導(dǎo)體公司已經(jīng)中標(biāo)ASML公司6臺(tái)光刻機(jī) ， 這6臺(tái)光刻機(jī)將在近日運(yùn)回我國(guó) 。不難看出 ， 老美的“美日荷封鎖聯(lián)盟”已經(jīng)失策 ， 老美有緊迫感了 。為了占據(jù)市場(chǎng)份額 ， 老美才提出解禁條件 ， 允許美企向中企自由出貨 。
寫在最后雖然上海微電子的SEMM光刻機(jī)和ASML、尼康、佳能的DUV光刻機(jī)、EUV光刻機(jī)有不小的差距 。但萬事開頭難 ， 我國(guó)已經(jīng)可以在自己的供應(yīng)鏈的體系下生產(chǎn)出SEMM光刻機(jī) ， 這已經(jīng)實(shí)屬難得了 。
相信在不久的將來 ， 上海微電子的28nm光刻機(jī)將會(huì)量產(chǎn)上市 ， 到時(shí)候我國(guó)在28nm光刻機(jī)市場(chǎng)就不會(huì)受制于人了 。
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