1、難在它的制造精度，為了便于形象地解釋，光刻機(jī)制造芯片的過程就相當(dāng)于“沖洗照片” 。設(shè)計好的集成電路的電路圖相當(dāng)于照片的“拍攝的內(nèi)容”，晶圓就相當(dāng)于“相紙”，光刻機(jī)的其它機(jī)構(gòu)就相當(dāng)于與照相機(jī)的“鏡頭機(jī)構(gòu)” 。
【光刻機(jī)到底難在哪里】2、不同的是洗照片是將照片放大呈現(xiàn)到相紙上，制造芯片是將設(shè)計的集成電路微縮到晶圓上拇指大小的區(qū)域內(nèi)，而且電路的投影精度達(dá)到了納米量級 。
3、光刻機(jī)的加工過程，光刻機(jī)技術(shù)發(fā)展已經(jīng)發(fā)展到了紫外光階段，我們就以紫外光為例說明 。光刻機(jī)加工芯片的過程簡單地講就是，光源提供的紫外光照射到刻著電路設(shè)計圖的掩模板上，紫外光透過掩模板后進(jìn)入物鏡，物鏡將掩模板上的電路圖大比例的縮小后，將電路投影到硅片上，這樣硅片上就刻下設(shè)計好的電路圖，這個過程中曝光臺和測量臺處于聯(lián)動的狀態(tài) 。
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