1、蒸發(fā)鍍膜：通過加熱蒸發(fā)某種物質使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜 。這種方法最早由M.法拉第于1857年提出，現(xiàn)代已成為常用鍍膜技術之一 。
【蒸發(fā)鍍膜原理】2、蒸發(fā)鍍膜與其他真空鍍膜方法相比，具有較高的沉積速率，可鍍制單質和不易熱分解的化合物膜 。為沉積高純單晶膜層，可采用分子束外延方法 。
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