所以，ASML并不是荷蘭的ASML,而是整個西方的ASML 。有血性的中國人聽到美國的制裁，都說：我們自己造，當(dāng)年“兩彈一星”我們都能造出來 。雖然我也不想承認(rèn)，但必須得承認(rèn)：眼下我們造不出來！ASML用的鏡頭是德國蔡司的，打破摩爾定律的EUV光源，全球只有ASML 。所以，無論是資金還是技術(shù)上，眼下我們都無法替代ASML 。
按照我們目前國家的技術(shù)，造一臺全球先進(jìn)的光刻機(jī)需要多少年？
如果說芯片是工業(yè)制造領(lǐng)域的一頂皇冠，那么光刻機(jī)就是皇冠上的明珠，而最先進(jìn)的光刻機(jī)就是最亮最大的那一顆 。一起來看一看世界最先進(jìn)的光刻機(jī)光刻機(jī)又名曝光機(jī)，是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的關(guān)鍵設(shè)備，將電路結(jié)構(gòu)臨時"復(fù)制"到涂有光刻膠硅片上的過程，制造和維護(hù)需要高度的光學(xué)和精密制造技術(shù) 。高端光刻機(jī)被稱為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”，制造難度很大，全世界只有少數(shù)幾家公司能制造 。
目前世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML生產(chǎn)的EUV光刻機(jī)，這臺光刻機(jī)可以生產(chǎn)出最先進(jìn)的5nm制程芯片 。這臺光刻機(jī)僅零部件就超過了十萬個，螺栓數(shù)量超過4萬個，3000多條線路，內(nèi)部軟管加起來，就有兩公里長，設(shè)備重量達(dá)到了180噸，如此龐大精密的設(shè)備安裝調(diào)試就需要幾個月 。設(shè)備最精密的部件就是：光源和鏡頭光源采用了極紫外光極紫外光系統(tǒng)來自于美國公司Cymer，一種波長極短的極紫外光，該技術(shù)是使用激光產(chǎn)生等離子源產(chǎn)生13nm的紫外波長 。
這種光源工作在真空環(huán)境下，產(chǎn)生紫外波長，然后由光學(xué)聚焦形成光束，光束經(jīng)由用于掃描圖形的反射掩膜版反射，由于極紫外光的固有特性，產(chǎn)生極紫外光的方式十分低效，能源轉(zhuǎn)換效率只有 0.02% 左右 。鏡頭采用了德國蔡司鏡頭高精度鏡頭采用蔡司技術(shù)，蔡司是德國歷史悠久的光學(xué)儀器廠商，其產(chǎn)品向來是“高貴”的代名詞 。同樣的一個鏡片，不同工人打磨，光潔度相差十倍 。
鏡片材質(zhì)均勻，更需要幾十年甚至上百年的技術(shù)沉淀，EUV光刻機(jī)采用的鏡頭要求：制作一個地球面積大小的鏡頭，誤差在一根頭發(fā)大小 。除了光源和鏡頭外，工作環(huán)境也很重要精密工作臺，工作臺要求：絕對穩(wěn)定的工作環(huán)境，芯片的曝光必須在真空中，并且采取恒溫技術(shù)，工作室的空氣要比外界干凈1萬倍，工作臺高速運(yùn)動期間，系統(tǒng)不能振動 。
而光刻機(jī)要多的事情，就好比在真空、恒溫、無塵、高速運(yùn)動的環(huán)境中，在一粒米上雕刻清明上河圖，機(jī)械動作誤差為皮秒（百萬分之一秒），這些基本都是挑戰(zhàn)人類極限的工作 。這就是世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)，價格約為1.6億歐元每臺，折合人民幣約12.5億元，關(guān)鍵是有錢還不一定能夠買到 。再來看看國產(chǎn)光刻機(jī)的水平目前最高端的國產(chǎn)光刻機(jī)是上海微電子公司制造的，工藝制程為90nm，在國內(nèi)市場份額超過80%，并且也銷往國外 。
上海微電子裝備有限公司坐落于張江高科技園區(qū)內(nèi)，鄰近國家集成電路產(chǎn)業(yè)基地、國家半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)基地和國家863信息安全成果產(chǎn)業(yè)化（東部）基地等多個國家級基地 。公司成立于2002年，主要致力于大規(guī)模工業(yè)生產(chǎn)的投影光刻機(jī)研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，公司產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于IC制造與先進(jìn)封裝、MEMS、TSV/3D、TFT-OLED等制造領(lǐng)域 。
海微電子的主要產(chǎn)品包括：600掃描光刻機(jī)系列—前道IC制造、500步進(jìn)光刻機(jī)系列—后道IC、MEMS制造、200光刻機(jī)系列—AM-OLED顯示屏制造、硅片邊緣曝光機(jī)系列——芯片級封裝工藝應(yīng)用、精密溫控系列—光刻機(jī)、刻蝕機(jī)應(yīng)用、精密溫度控制解決方案 。上海微電子制造的光刻機(jī)和荷蘭ASML的EUV光刻機(jī)相比，卻處于低端序列，根本無法制造手機(jī)芯片，這也是華為麒麟芯片被“卡脖子”的一大原因 。
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