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MBA智庫(kù)百科,微電子

上海微電子的28nm光刻機(jī)現(xiàn)在到底怎么樣了?

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目前外面流出來(lái)的消息不太多,不過(guò)上海微電子作為一家公司,如果研發(fā)成功一定會(huì)官宣,現(xiàn)在沒(méi)消息只能說(shuō)至少還沒(méi)有到官宣的階段 。據(jù)說(shuō)去年評(píng)審沒(méi)通過(guò),內(nèi)情不知,一臺(tái)DUV光刻機(jī)也是非常復(fù)雜的,很多東西不是有了理論和設(shè)計(jì)就能解決的,里面有太多經(jīng)驗(yàn)值,這個(gè)只能靠時(shí)間積累,沒(méi)有捷徑!希望盡快能有好消息,也有可能正在試車中,不過(guò)還有問(wèn)題,沒(méi)有達(dá)到商用狀態(tài),總之,希望在不久將來(lái)能看到上海微電子DUV光刻機(jī)面世! 。
上海微電子能在2025年前攻克7nm光刻機(jī)嗎?
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這是一個(gè)誤區(qū),其實(shí)生產(chǎn)28納米芯片和7納米芯片的光刻機(jī)可以是同一種光刻機(jī),只是使用光刻機(jī)的方式有變化而已 。臺(tái)積電昔日就是用相同的浸入式ArF光源的DUV光刻機(jī),生產(chǎn)出來(lái)了從28納米到7納米的所有芯片 。只不過(guò)現(xiàn)在有了EUV光源的光刻機(jī),在生產(chǎn)7納米芯片時(shí)效率更高,于是臺(tái)積電就在許多工序改用了EUV光刻機(jī),但并不是說(shuō)浸入式ArF光源的DUV光刻機(jī)就不被使用到7納米芯片工藝的工序中了 。
如此一來(lái),這個(gè)問(wèn)題就簡(jiǎn)化成為,只要上海微電子攻克了生產(chǎn)28納米的光刻機(jī),理論上來(lái)說(shuō),通過(guò)工藝改進(jìn),不計(jì)成本的話,7納米芯片也是可以被生產(chǎn)出來(lái)的 。這理論上也算是攻克了7納米的工藝吧 。所以問(wèn)題就變成了2025年前攻克28納米光刻機(jī)的可能性了 。真正7納米芯片的工藝問(wèn)題是代工廠的責(zé)任,探索臺(tái)積電已經(jīng)走過(guò)的技術(shù)路線,用浸入式ArF光源的DUV光刻機(jī)的多次曝光工藝來(lái)生產(chǎn)7納米芯片 。
這就不是我們今天討論的關(guān)鍵了 。很顯然,2021年就不用指望了 。因?yàn)樯虾N㈦娮拥?8納米光刻機(jī)沒(méi)有達(dá)到合格標(biāo)準(zhǔn),需要2022年繼續(xù)努力了 。但即便2022年這臺(tái)光刻機(jī)達(dá)到了標(biāo)準(zhǔn),獲得了通過(guò),也還有一個(gè)嚴(yán)峻的問(wèn)題擺在了上海微電子面前 。那就是浸入式ArF光源的問(wèn)題 ?,F(xiàn)在這臺(tái)樣機(jī)的光源,用的是日本進(jìn)口的浸入式ArF光源 。
那么,在日后量產(chǎn)的時(shí)候,這個(gè)光源能不能穩(wěn)定供貨就是一個(gè)重大問(wèn)題了 。國(guó)內(nèi)光源提供商“科益虹源”,已經(jīng)拿出來(lái)了40w 4kHz ArF光源的樣機(jī),但主流的ArF浸沒(méi)式光刻機(jī)需要60w 6kHz等級(jí)的光源,所以也就是說(shuō)國(guó)內(nèi)的光源目前還沒(méi)辦法代替進(jìn)口光源了 。至此,這臺(tái)上海微電子的樣機(jī)能不能變成批量生產(chǎn)的產(chǎn)品就非常不確定了,因?yàn)殛P(guān)鍵子系統(tǒng)還處于攻關(guān)當(dāng)中,無(wú)法確認(rèn)研發(fā)出子系統(tǒng)的時(shí)間節(jié)點(diǎn) 。
也就是說(shuō),現(xiàn)在上海微電子的這臺(tái)28納米光刻機(jī),就是走的殲20路子 。時(shí)間不等人,殲20就不等渦扇15發(fā)動(dòng)機(jī)了,先用進(jìn)口的俄羅斯AL-31F發(fā)動(dòng)機(jī)頂上用著 ?,F(xiàn)在上海微電子可不就是先用日本光源頂上用著嘛 。至于中國(guó)自己的光源,就等著啥時(shí)候能研發(fā)出來(lái)吧 。以目前的國(guó)際大環(huán)境,殲20如果還想用俄羅斯發(fā)動(dòng)機(jī),就還是能找到貨源的 。
但中國(guó)如果想獲得一個(gè)穩(wěn)定的浸入式ArF光源的難度有多大?我想大家都明白 。所以,這個(gè)浸入式ArF光源的緊迫性,甚至遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過(guò)對(duì)渦扇15的需求,就肯定沒(méi)錯(cuò)了 。也就是說(shuō),哪怕2022年,上海微電子攻克了這個(gè)28納米光刻機(jī)技術(shù),但橫在量產(chǎn)前面的光源問(wèn)題,能不能在2025年前解決呢?我想沒(méi)人知道吧 ?,F(xiàn)在科益虹源的官網(wǎng)網(wǎng)站都打不開(kāi)了,所以沒(méi)人知道他們的進(jìn)展如何了,現(xiàn)在網(wǎng)上真是一個(gè)字兒都沒(méi)有 。
今天被西工大的微電子專業(yè)錄取了 。這個(gè)專業(yè)咋樣,就業(yè)前景如何?

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