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佳能NIL設(shè)備出貨:不需要EUV,制造5nm芯片,成本低90%

佳能NIL設(shè)備出貨:不需要EUV,制造5nm芯片,成本低90%

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佳能NIL設(shè)備出貨:不需要EUV,制造5nm芯片,成本低90%

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目前制造7nm以下芯片 , 全部采用光刻技術(shù) 。 而EUV光刻機(jī) , 則是制造7nm以下芯片 , 必不可少的設(shè)備 , 全球只有ASML一家能夠生產(chǎn) , 最便宜的EUV光刻機(jī) , 都需要1.5億歐元左右一臺(tái) 。
而像三星、臺(tái)積電、intel等 , 眾多的芯片廠 , 都是從ASML那搶購(gòu)EUV光刻機(jī) , 可見(jiàn)這個(gè)市場(chǎng) , 目前還是賣(mài)方市場(chǎng) , 不是買(mǎi)方市場(chǎng) 。

在這樣的情況之下 , 其它半導(dǎo)體設(shè)備廠商 , 也是蠢蠢欲動(dòng) , 想要生產(chǎn)出與EUV抗衡的設(shè)備來(lái) , 但生產(chǎn)EUV光刻機(jī) , 則不太現(xiàn)實(shí) , 因?yàn)橐恍┖诵墓?yīng)鏈、專利等 , 都被ASML壟斷了 。
所以其它廠商 , 都是通過(guò)其它辦法 , 來(lái)生產(chǎn)類似于EUV的光刻機(jī) , 制造5nm芯片 。
【佳能NIL設(shè)備出貨:不需要EUV,制造5nm芯片,成本低90%】比如佳能 , 就走的是納米壓印這條路 , 納米壓印技術(shù)的原理很簡(jiǎn)單 , 就像蓋章一樣 , 第一步先雕刻一個(gè)圖章出來(lái) , 下一步拿這個(gè)圖章 , 直接印到硅晶圓上 , 就形成了電路圖 。

只要這個(gè)圖章不磨損 , 就可以一直蓋章蓋下去 , 看起來(lái)確實(shí)簡(jiǎn)單很多 , 原理也簡(jiǎn)單 。
去年的時(shí)候 , 佳能正式發(fā)布了全球首款NIL系統(tǒng)FPA-1200NZ2C , 表示這臺(tái)設(shè)備 , 可以制造最小線寬14nm的芯片 , 從工藝制程來(lái)看 , 也就是5nm 。
而近日 , 佳能的這個(gè)設(shè)備 , 正式出貨了 , 第一個(gè)客戶是美國(guó)德克薩斯州的半導(dǎo)體聯(lián)盟—德克薩斯電子研究所 (TIE) 。

按照佳能的說(shuō)法 , 這種NIL納米壓機(jī) , 其售價(jià)只有EUV光刻機(jī)的10%左右 , 大約也就是1500萬(wàn)歐元 。 而使用NIL設(shè)備來(lái)制造芯片 , 一整套設(shè)備的成本 , 相比于EUV光刻機(jī)生產(chǎn)線的成本 , 可能會(huì)低40%~50% 。
看起來(lái)似乎便宜很多 , 優(yōu)勢(shì)明顯 , 但其實(shí)NIL納米壓印的缺點(diǎn)也非常明顯 , 一是生產(chǎn)效率不高 , 其產(chǎn)能 , 無(wú)法和EUV光刻機(jī)相比 , 如果像臺(tái)積電這種大規(guī)模制造芯片 , 很難實(shí)現(xiàn) 。
另外就是使用NIL設(shè)備來(lái)制造芯片 , 幾乎整套設(shè)備生產(chǎn)線 , 都要換掉 , 和EUV生產(chǎn)線不兼容 。

所以 , 目前真正愿意使用NIL生產(chǎn)線來(lái)制造芯片的廠商 , 并不多 , 因?yàn)橛羞@個(gè)能力制造5nm芯片的廠商 , 之前的生產(chǎn)線 , 大多都是基于EUV的 , 全部換掉 , 不太現(xiàn)實(shí) 。
所以購(gòu)買(mǎi)佳能NIL設(shè)備的 , 主要是一些研究機(jī)構(gòu) , 大家也沒(méi)有大規(guī)模生產(chǎn)芯片的需求 , 更多的的研究需要 。
當(dāng)然 , 中國(guó)其實(shí)是有機(jī)會(huì)成為佳能NIL設(shè)備的最大客戶的 , 畢竟我們買(mǎi)不到EUV也沒(méi)有EUV生 線 , 是從0開(kāi)始的建設(shè)NIL生產(chǎn)線 , 非常合適 , 但因?yàn)榻?, 佳能不能賣(mài)給中國(guó) , 真是遺憾 。

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