石英砂照片見圖1 。②高純二氧化硅經(jīng)過化學(xué)還原反應(yīng)生成金屬級硅，再與氯化氫氣體反應(yīng)生成甲硅烷、三氯氫硅等中間化合物；然后通過化學(xué)氣相沉積與高純氫氣反應(yīng)，使超高純單質(zhì)硅沉積在多晶硅籽晶棒上，形成多晶硅棒 。此時(shí)硅的雜質(zhì)濃度降低到十億分之一原子以下，是迄今為止世界上純度最高的人造物質(zhì) 。
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