平面度是指基片具有的宏觀凹凸高度相對理想平面的偏差 。平面度測量是指被測實(shí)際表面對其理想平面的變動量 。
測量方法：
1、塞尺測量法 。塞尺主要用于間隙間距的測量 ， 對平面度的測量只能進(jìn)行粗測 。塞尺使用前必須先清除塞尺和工件上的污垢與灰塵 。使用時可用一片或數(shù)片重疊插入間隙，以稍感拖滯為宜 。測量時動作要輕，不允許硬插 。由于其精度不高 ， 檢測效率較低，結(jié)果不夠全面，只能檢測零件邊緣 。
2、液平面法 。液平面法是用液平面作為測量基準(zhǔn)面，液平面由 “連通罐”內(nèi)的液面構(gòu)成 ， 然后用傳感器進(jìn)行測量 ?；谶B通器工作原理，適合測量連續(xù)或不連續(xù)的大平面的平面度，但測量時間長，且對溫度敏感，僅適用于測量精度較低的平面 。
【平面度測量方法】3、打表測量法 。打表測量法是將被測零件和測微計(jì)放在標(biāo)準(zhǔn)平板上，以標(biāo)準(zhǔn)平板作為測量基準(zhǔn)面，用測微計(jì)沿實(shí)際表面逐點(diǎn)或沿幾條直線方向進(jìn)行測量 。
