1、硅的氫化物是指含有硅元素和氫元素兩種元素的化合物 。硅的氫化物有硅烷、 乙硅烷等；
2、硅烷即硅與氫的化合物，是一系列化合物的總稱(chēng)，包括甲硅烷、乙硅烷和一些高級(jí)的硅氫化合物 。目前應(yīng)用最多的是甲硅烷 。一般把甲硅烷簡(jiǎn)稱(chēng)做硅烷 。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源 ， 可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物 。因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制，已成為許多其他硅源無(wú)法取代的重要特種氣體；
【硅的氫化物是什么←_←】3、乙硅烷是一種無(wú)機(jī)化合物，在常溫常壓下為無(wú)色透明具有不愉快刺激臭的有毒氣體 。它具有與硅烷類(lèi)似的化學(xué)性質(zhì)，但其反應(yīng)性比硅烷更強(qiáng) 。它比硅烷更不穩(wěn)定 ， 在室溫下會(huì)緩慢分解成硅烷和氫 。
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