光罩護(hù)膜 / 薄膜是極紫外 (EUV) 光刻工藝中的關(guān)鍵部件，指的是在光罩上展開(kāi)的一層薄膜 ， 然后用機(jī)器在上面繪制要在晶圓上壓印的電路 ， 旨在使光罩免受空氣中微塵或揮發(fā)性氣體的污染并減少光掩模損壞，該領(lǐng)域目前仍由荷蘭 ASML、日本三井化學(xué)主導(dǎo)，而韓國(guó) S&S Tech 等后來(lái)居上者也是主要供應(yīng)商之一 。
韓媒 ETNews 報(bào)道稱(chēng)，三星電子已經(jīng)自主開(kāi)發(fā)出了透光率高達(dá) 88% 的 EUV 薄膜，有助于實(shí)現(xiàn)供應(yīng)鏈多元化和穩(wěn)定 。據(jù)證實(shí) ， 這款透光率 88% 的 EUV 薄膜產(chǎn)品已經(jīng)可以大規(guī)模生產(chǎn) 。
IT之家獲悉，三星電子在去年的 2021 Foundry Forum 上宣布自研 EUV 薄膜，當(dāng)時(shí)還公開(kāi)宣布他們開(kāi)發(fā)出了 82% 透光率薄膜技術(shù)，并宣布到 2022 年將擁有 88% 透光率的量產(chǎn)系統(tǒng) 。
【三星電子開(kāi)發(fā)出透光率達(dá) 88% 的 EUV 薄膜】值得一提的是，韓國(guó)公司 S&S Tech 在 2021 年生產(chǎn)成功開(kāi)發(fā)出了透光率達(dá) 90% 的半導(dǎo)體 EUV 薄膜，一舉成為除了 ASML 之外另一家成功開(kāi)發(fā)出了透光率超過(guò) 90% 的 EUV 薄膜的公司 。據(jù)稱(chēng) ， 三星對(duì)它的要求是將比率提高到 94% 。
業(yè)界預(yù)測(cè)，今年 EUV 薄膜的需求將比去年增加近 2 倍，而韓國(guó)國(guó)產(chǎn)的 EUV 薄膜最早將會(huì)在 1~2 年內(nèi)商用化 。此外，臺(tái)積電也正在加快開(kāi)發(fā)自己的產(chǎn)品以確保 EUV 薄膜可控 。
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