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飛利浦是哪國的公司品牌 飛利浦是哪國的( 三 )


準確抓住了技術(shù)轉(zhuǎn)折點
目前世界最頂尖的光刻機有三個廠家,分別是ASML,尼康和佳能 。2007年之前這三大廠家其實并沒有太大的差距,競爭的轉(zhuǎn)折點是出現(xiàn)在2007年 。2007年ASML配合臺積電的技術(shù)方向,推出了193納米的光源浸沒式系統(tǒng),在光學(xué)鏡頭和硅晶圓片導(dǎo)入液體作為介質(zhì),在原有光源與鏡頭的條件下,能顯著提升蝕刻精度 , 并成為高端科技的主流技術(shù)方案 。而當時日本的尼康與佳能卻主推157納米光源的干式光刻,這個路線后來被市場所放棄 , 也成為尼康跟佳能邁入衰退的一個轉(zhuǎn)折點,后來才有了ASML的壟斷 。

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技術(shù)分工與合作
雖然ASML的研發(fā)人員占員工總數(shù)的比例達到4成左右,但是ASML很多技術(shù)都是外包 , 這樣可以讓ASML專注于核心技術(shù)與客戶需求,大大提高研發(fā)的效率 。
對細分技術(shù)領(lǐng)域企業(yè)的控制
生產(chǎn)光刻機對技術(shù)的綜合要求非常高,這里面涉及很多技術(shù)領(lǐng)域,為了獲得全球最頂尖的技術(shù),ASML先后投資了很多企業(yè) 。比如2007年收購了美國的Bion,強化了專業(yè)光刻檢測與解決方案能力;2013年完成對紫外光源龍頭 Cymene的收購,2016年獲得光學(xué)鏡片龍頭德國蔡司24.9%的股份,這兩項投資進一步加強了ASML在極紫外光領(lǐng)域的領(lǐng)先優(yōu)勢 。
PS:
EUV(極紫外光源)光刻機,是生產(chǎn)7nm制程芯片必不可少的設(shè)備,我們熟知的華為麒麟芯片、高通驍龍芯片,三星Exynos芯片的制造都離不開該設(shè)備 。可以說沒有EUV光刻機就生產(chǎn)不出頂級的處理器,如果臺積電不給華為代工 , 華為就得退出中高端手機市?。?
目前僅有由荷蘭飛利浦公司發(fā)展而來的ASML(阿斯麥)一家可提供可供量產(chǎn)用的EUV光刻機,在全球市場處于絕對壟斷地位 。因此ASML對于EUV光刻機的供貨重要性不言而喻,同時一臺光刻機的價值不菲,超過一億美元!
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EUV光刻機制造難度極高,基本代表著人類科學(xué)技術(shù),工業(yè)制造各領(lǐng)域最高成果 。需要多個國家、多個領(lǐng)域頂級公司通力合作 , 才能制造出來,基本代表著人類科學(xué)技術(shù)的頂峰!EUV光刻機在研發(fā)初期耗費了大量的資源,三星、臺積電、英特爾共同向ASML注資52.59億歐元 , 用于支持EUV光刻機的研發(fā) 。隨后ASML收購了全球領(lǐng)先的準分子激光器供應(yīng)商Cymer,并以10億歐元現(xiàn)金入股德國著名光學(xué)系統(tǒng)生產(chǎn)商卡爾蔡司,加速EUV光源和光學(xué)系統(tǒng)的研發(fā)進程,這兩次并購也是EUV光刻機能研發(fā)成功的重要原因 。EUV光學(xué)透鏡、反射鏡系統(tǒng)需要極高的精度 。舉例來說 , 一臺EUV機臺得經(jīng)過十幾面反射鏡,將光從光源一路導(dǎo)到晶圓,最后大概只剩下不到2%的光線 。反射鏡的制造難度非常大,精度以皮米計(萬億分之一米) 。ASML的總裁曾說過,如果反射鏡面積有德國那么大,最高的凸起不能超過1公分 。
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光刻機光刻過程必須在真空中實現(xiàn) , 原因是極紫外光很嬌貴,在空氣中容易損耗 。同時,在光刻過程中,設(shè)備的動作時間誤差以皮秒計 。(備注:皮秒=兆分之一秒)EUV除了售價高昂,技術(shù)復(fù)雜之外,耗電能力也十分恐怖 。驅(qū)動一臺能輸出 250 瓦功率的 EUV的機臺,需要輸入0.125萬千瓦的電力才能達到,換句話來說,就是一臺輸出功率250W的EUV機器工作一天,將會消耗3萬度電,這個數(shù)字確實嚇人 。由于極紫外光的固有特性 , 產(chǎn)生極紫外光的方式十分低效,世界第二大內(nèi)存制造商、韓國的 SK 海力士代表曾表示 , “EUV 的能源轉(zhuǎn)換效率(wall plug efficiency)只有 0.02% 左右 。”

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