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飛利浦是哪國的公司品牌 飛利浦是哪國的( 二 )

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激光器：也就是光源，光刻機(jī)核心設(shè)備之一 。
光束矯正器：矯正光束入射方向，讓激光束盡量平行 。
能量控制器：控制最終照射到硅片上的能量 ， 曝光不足或過足都會嚴(yán)重影響成像質(zhì)量 。
光束形狀設(shè)置：設(shè)置光束為圓型、環(huán)型等不同形狀，不同的光束狀態(tài)有不同的光學(xué)特性 。
遮光器：在不需要曝光的時候，阻止光束照射到硅片 。
能量探測器：檢測光束最終入射能量是否符合曝光要求 ， 并反饋給能量控制器進(jìn)行調(diào)整 。
掩模版：一塊在內(nèi)部刻著線路設(shè)計圖的玻璃板，貴的要數(shù)十萬美元 。
掩膜臺：承載掩模版運(yùn)動的設(shè)備 ， 運(yùn)動控制精度是nm級的 。
物鏡：物鏡由20多塊鏡片組成 ， 主要作用是把掩膜板上的電路圖按比例縮小 ， 再被激光映射的硅片上，并且物鏡還要補(bǔ)償各種光學(xué)誤差 。技術(shù)難度就在于物鏡的設(shè)計難度大 ， 精度的要求高 。
硅片：用硅晶制成的圓片 。硅片有多種尺寸，尺寸越大，產(chǎn)率越高 。題外話，由于硅片是圓的，所以需要在硅片上剪一個缺口來確認(rèn)硅片的坐標(biāo)系，根據(jù)缺口的形狀不同分為兩種，分別叫flat、notch 。
內(nèi)部封閉框架、減振器：將工作臺與外部環(huán)境隔離，保持水平 ， 減少外界振動干擾 ， 并維持穩(wěn)定的溫度、壓力 。
為何荷蘭能誕生全球最頂尖的光刻機(jī)廠商？
荷蘭的光刻機(jī)技術(shù)強(qiáng)大主要靠ASML ， ASML成立于1984年 ， 由飛利浦與先進(jìn)半導(dǎo)體材料國際（ASML）合資成立，總部位于荷蘭的費(fèi)爾德霍芬 。1995年，ASML收購了菲利普持有的股份，稱為完全獨(dú)立的公司 。
目前全球只有一家企業(yè)在光刻機(jī)市場上占據(jù)了80%的份額，就是處于荷蘭的ASML，旗下所研發(fā)的EUV光刻機(jī)曾售價高達(dá)1億美元一臺，而且還不一定有貨 。皆因每臺光刻機(jī)的裝配大約需要50000個零件左右 。國際上著名的芯片制造商如Intel、臺積電、三星都是它名下的股東 。
阿斯麥公司ASML Holding NV創(chuàng)立于1984年，是從飛利浦獨(dú)立出來的一個半導(dǎo)體設(shè)備制造商 。前稱ASM Lithography Holding N.V.，于2001年改為現(xiàn)用名，總部位于荷蘭費(fèi)爾德霍芬，全職雇員12,168人，是一家半導(dǎo)體設(shè)備設(shè)計、制造及銷售公司 。
接下來我們 ， 走進(jìn)ASML光刻機(jī)工廠
看看世界上最貴精密儀器出廠地
光刻機(jī)制造難度有多大？
而ASML之所以能夠做到全球光刻機(jī)的霸主地位，我覺得主要有幾下幾個原因 。
強(qiáng)大的研發(fā)投入
光刻機(jī)是一個高精尖的技術(shù)，其技術(shù)難度是全球公認(rèn)的，如果沒有持續(xù)強(qiáng)大的研發(fā)投入根本不可能到技術(shù)領(lǐng)先 。ASML從成立至今，對于研發(fā)的投入都非常大，比如2019年ASML的銷售額大概是21億歐元，而研發(fā)費(fèi)用支出就達(dá)到了4.8億歐元，研發(fā)費(fèi)用占營收的比例達(dá)到22.8%，這個比例是非常高的，正因為有大量資金的投入，所以ASML在關(guān)鍵技術(shù)領(lǐng)域一直處于領(lǐng)先地位 。
從1991年P(guān)AS 5000光刻機(jī)面市取得巨大成功開始，再到2000-2001年具有雙工作臺、浸沒式光刻技術(shù)的Twinscan XT、Twinscan NXT系列研制成功，到強(qiáng)大的研發(fā)投入讓ASML的技術(shù)一直處于全球領(lǐng)先 。
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美國以及歐盟的支持
雖然ASML是一家荷蘭公司，但他背后卻有著歐盟以及美國的力量，多關(guān)鍵技術(shù)都由美國以及歐盟國家提供 。比如德國先進(jìn)的機(jī)械工藝以及世界級的蔡司鏡頭，再加上美國提供的光源，這就使得ASML公司在光科技術(shù)方面飛速發(fā)展，幾乎到達(dá)了無人能敵的境地 。
因為背后有美國的力量，所以ASML一直以來都禁止向中國出口高端光刻機(jī)，直到2018年這一情況才有所轉(zhuǎn)機(jī) ， 2018年ASML同意向中國出口兩臺7納米的高端光刻機(jī)，預(yù)計2019年交貨 。而ASML之所以一反常態(tài)同意向中國出口高端光刻機(jī)，一方面是因為中國在光刻機(jī)的一些關(guān)鍵技術(shù)上已經(jīng)取得了突破，另一方面是中國訪問團(tuán)訪問荷蘭的時候，給荷蘭帶去了巨大的訂單 。

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