【能譜儀的測器原理】當(dāng)X射線光子進(jìn)入檢測器后，在Si晶體內(nèi)激發(fā)出一定數(shù)目的電子空穴對 。產(chǎn)生一個空穴對的最低平均能量是一定的，而由一個X射線光子造成的空穴對的數(shù)目，因此，入射X射線光子的能量越高，N就越大 。利用加在晶體兩端的偏壓收集電子空穴對，經(jīng)過前置放大器轉(zhuǎn)換成電流脈沖，電流脈沖的高度取決于N的大小 。電流脈沖經(jīng)過主放大器轉(zhuǎn)換成電壓脈沖進(jìn)入多道脈沖高度分析器，脈沖高度分析器按高度把脈沖分類進(jìn)行計數(shù)，這樣就可以描出一張X射線按能量大小分布的圖譜 。
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