1、氣墊運輸，光刻機運輸中需要保證全程加氣墊，避免因為震動而使內部遭到破壞 。
【光刻機是怎么運輸?shù)摹?/strong>2、真空木箱打包，因為光刻機運輸要保持全程恒溫恒壓，所以要使用真空木箱打包技術 。
3、恒溫氣墊車運輸，光刻機運輸過程中，溫度要保持在26度，濕度要保持在40度，因此要用特種運輸車輛來運輸 。
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