最佳答案在集成電路設(shè)計(jì)中，通孔是絕緣氧化物層中的一個(gè)小開口，允許不同層之間的導(dǎo)電連接，合包與分包（PAU）工藝被用于制備通孔陣列 。與其他雙重曝光工藝不同，PAU工藝并不直接提供額外的圖形分辨率 。圖形分辨率只在第一次曝光時(shí)獲得，第二次曝光只是在密集陣列中選擇所需要的通孔 。【通孔是什么】
在集成電路設(shè)計(jì)中 ， 通孔是絕緣氧化物層中的一個(gè)小開口，允許不同層之間的導(dǎo)電連接，合包與分包（PAU）工藝被用于制備通孔陣列 。與其他雙重曝光工藝不同，PAU工藝并不直接提供額外的圖形分辨率 。圖形分辨率只在第一次曝光時(shí)獲得，第二次曝光只是在密集陣列中選擇所需要的通孔 。
該方法的主要困難是如何固化第一層光刻膠，即必須避免旋涂第二層光刻膠時(shí)對(duì)第一層膠的損傷，以及在第二次顯影時(shí)對(duì)第一層膠的影響 。為此提出了兩種解決方案，其一 ， 兩種光刻膠使用不同的溶劑，且第一層光刻膠不溶于第二層光刻膠的溶劑 。第一層光刻膠可溶于乙醇 ， 而不溶于PGMEA 。其二，使用紫外固化工藝固定第一層光刻膠圖形，固化工藝使第一層光刻膠非常牢固，使其不被第二層光刻膠溶劑所溶解 。
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