mems即微機電系統(tǒng)（英語：MicroelectromechanicalSystems，縮寫為MEMS）是將微電子技術(shù)與機械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù)，它的操作范圍在微米范圍內(nèi) 。比它更小的，在納米范圍的類似的技術(shù)被稱為納機電系統(tǒng) 。
微機電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術(shù)平臺 。它是以半導(dǎo)體制造技術(shù)為基礎(chǔ)發(fā)展起來的 。MEMS技術(shù)采用了半導(dǎo)體技術(shù)中的光刻、腐蝕、薄膜等一系列的現(xiàn)有技術(shù)和材料，因此從制造技術(shù)本身來講，MEMS中基本的制造技術(shù)是成熟的 。但MEMS更側(cè)重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學(xué)、化學(xué)、機械學(xué)諸多學(xué)科領(lǐng)域 。它的學(xué)科面也擴大到微尺度下的力、電、光、磁、聲、表面等物理學(xué)的各分支 。
【mems是什么意思】
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