【微波技術(shù)的應(yīng)用】微波等離子體技術(shù)半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中已經(jīng)采用微波等離子體技術(shù)，進(jìn)行刻蝕、濺射、氣相沉積、氧化硅片 。
微波是指頻率為300MHz-300GHz的電磁波，是無(wú)線電波中一個(gè)有限頻帶的簡(jiǎn)稱，即波長(zhǎng)在0.1毫米~1米之間的電磁波 。微波頻率比一般的無(wú)線電波頻率高，通常也稱為“超高頻電磁波” 。微波作為一種電磁波也具有波粒二象性 。微波的基本性質(zhì)通常呈現(xiàn)為穿透、反射、吸收三個(gè)特性 。對(duì)于玻璃、塑料和瓷器，微波幾乎是穿越而不被吸收 。對(duì)于水和食物等就會(huì)吸收微波而使自身發(fā)熱 。而對(duì)金屬類東西，則會(huì)反射微波 。
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