晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅 。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種，然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅 。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后 ， 形成硅晶圓片，也就是晶圓 。【晶圓是什么東西】
晶圓是指制作硅半導體電路所用的硅晶片，其原始材料是硅 。高純度的多晶硅溶解后摻入硅晶體晶種 ， 然后慢慢拉出，形成圓柱形的單晶硅 。硅晶棒在經過研磨，拋光，切片后，形成硅晶圓片，也就是晶圓 。
晶圓的主要加工方式為片加工和批加工 ， 即同時加工1 片或多片晶圓 。隨著半導體特征尺寸越來越?。?加工及測量設備越來越先進，使得晶圓加工出現了新的數據特點 。同時，特征尺寸的減?。溝鎂г布庸な?nbsp;， 空氣中的顆粒數對晶圓加工后質量及可靠性的影響增大 ， 而隨著潔凈的提高，顆粒數也出現了新的數據特點 。
