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哈工大宣布“捅破天”技術(shù)，美媒：地球儀成功了

哈工大光刻機地球儀阿斯麥爾

哈工大宣布“捅破天”技術(shù)，美媒：地球儀成功了

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在限制別國企業(yè)發(fā)展這件事上 ， 美國已經(jīng)不打算回頭了 ， 還在想方設(shè)法擴大限制范圍 ， 將大量的半導體技術(shù)列入出口管制清單 。 其中就包括EUV光刻機 ， 如果中國想獲得這項技術(shù) ， 就需要走自研路線 ， 不斷積累沉淀 ， 實現(xiàn)厚積薄發(fā) 。
好的一面是 ， 國內(nèi)已經(jīng)有不少科研機構(gòu) ， 高校取得突破進展 ， 其中哈工大宣布一項“捅破天”的技術(shù) ， 這引起美媒感慨：還如何制裁？

國內(nèi)加緊芯片制造產(chǎn)業(yè)布局 ， 對光刻機有了更多的需求 。 國產(chǎn)光刻機暫時無法進入28nm等芯片制程生產(chǎn)線 ， 靠的是進口ASML光刻機 。 盡管國外光刻機有產(chǎn)量和質(zhì)量保障 ， 卻容易遭受卡脖子 。
ASML最先進的EUV光刻機至今無法自由出貨 ， 甚至DUV光刻機中的高端型號設(shè)備也要被限制出口 。 所以該認清現(xiàn)實了 ， 國外的設(shè)備再好終究是國外的 ， 要想掌握核心技術(shù) ， 打破技術(shù)封鎖 ， 還得靠自己 。

可問題是打造EUV光刻機有多難？國產(chǎn)距離掌握這項技術(shù)還有多遠？
打造EUV光刻機是一項非常復雜和困難的任務 。 EUV光刻技術(shù)需要使用極紫外光（EUV）來進行芯片制造 ， 而這種波長非常短 ， 只有13.5納米 ， 因此需要使用特殊的反射鏡和光學元件來聚焦光線和進行光學校正 。
這些元件需要具備非常高的精度和純度 。 此外 ， EUV光刻技術(shù)還需要使用非常強大的光源和控制系統(tǒng)來保證穩(wěn)定性和精確度 。 EUV光刻技術(shù)還需要解決許多其他問題 ， 比如光刻膠的選擇、掩模制造、光刻機的制造和維護等 。

這些問題都需要高度專業(yè)的知識和技能 ， 需要花費大量的時間和精力來解決 。
中國掌握這項技術(shù)還有一定的距離 ， 但中國在EUV光刻機技術(shù)研究方面取得了一些進展 ， 比如哈工大宣布一項“捅破天”的技術(shù) ， 可應用于EUV領(lǐng)域 ， 那就是“電能轉(zhuǎn)化等離子體線路”技術(shù) ， 這使得DPP-EUV光源有望從理論走向現(xiàn)實 。

【哈工大宣布“捅破天”技術(shù)，美媒：地球儀成功了】光源是光刻機的重要組成部分 ， 因為它直接影響到EUV光刻機的分辨率和穩(wěn)定性 。 EUV光刻機使用的是極紫外（EUV）波長的光源 ， 這種波長非常短 ， 只有13.5納米 ， 因此需要采用非常特殊的技術(shù)來產(chǎn)生和控制這種波長的光 。
此外 ， EUV光源需要具有非常高的能量和穩(wěn)定性 ， 以確保光刻機能夠穩(wěn)定地工作 ， 并產(chǎn)生高質(zhì)量的芯片 。
而哈工大實現(xiàn)的DPP-EUV光源是EUV光刻機的光源類型 ， 這種技術(shù)是通過在一個小的空間中注入氣體并加以放電來產(chǎn)生等離子體 ， 并通過等離子體來產(chǎn)生EUV光 。

DPP-EUV光源可以產(chǎn)生高能量和高穩(wěn)定性的EUV光 ， 在目前的EUV光刻機中得到了廣泛應用 。 由于DPP-EUV光源可以實現(xiàn)高效的光產(chǎn)生 ， 所以可以大大提高EUV光刻機的生產(chǎn)效率 。
當然 ， 要想將這項光源技術(shù)應用于實踐 ， 還需要其它核心技術(shù)也得以攻克 ， 畢竟光刻機的整機生產(chǎn)非常復雜 ， 不是掌握某一項技術(shù)就能概括整體的 。 但既然能邁出第一步 ， 就會有第二步 ， 直到取得最終的破冰 。

有美媒發(fā)出感慨 ， 這還怎么制裁？中國不斷研發(fā) ， 一定能取得更大的突破進展 。 面向未來 ， 中國還有很多需要努力的地方 ， 要想實現(xiàn)光刻機產(chǎn)業(yè)的自主化突破 ， 可以從多個方面入手 。
第一個方面 ， 加大對光刻機技術(shù)研發(fā)的投入 ， 尤其是對關(guān)鍵技術(shù)的攻關(guān) ， 如高能量DPP-EUV光源、光刻膠、光刻機控制系統(tǒng)等 。 同時 ， 加強對光刻機相關(guān)領(lǐng)域的基礎(chǔ)研究 ， 培養(yǎng)和吸引更多的人才 。

第二個方面 ， 加強與國內(nèi)外相關(guān)企業(yè)的合作 ， 避免重復建設(shè)和浪費資源 ， 形成優(yōu)勢互補、協(xié)同發(fā)展的局面 。 同時 ， 鼓勵國內(nèi)企業(yè)與領(lǐng)先企業(yè)聯(lián)合開發(fā)和生產(chǎn) ， 以提高國內(nèi)企業(yè)的技術(shù)水平和市場競爭力 。
當初ASML的崛起就是靠與臺積電的合作 ， 臺積電幫助ASML的光刻機進行驗證 ， 并提供技術(shù)支持 ， 此后的臺積電和ASML相互成就 。 臺積電成為ASML最大的客戶 ， ASML也成為臺積電最大的光刻機供應商 。
國產(chǎn)廠商和國產(chǎn)光刻機企業(yè)之間也可以如此 ， 研發(fā)國產(chǎn)光刻機的過程中進行技術(shù)驗證 ， 待國產(chǎn)光刻機實現(xiàn)落地之后 ， 便能迅速投入商用市場 ， 加速產(chǎn)業(yè)化布局 。

希望能有越來越多類似哈工大“電能轉(zhuǎn)化等離子體線路”技術(shù)的突破 ， 為國產(chǎn)光刻機的發(fā)展添磚加瓦 。 美媒：智能AR地球儀也成功了
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