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一臺EUV光刻機 ， 有幾十萬個零件 ， 但總的來講 ， 主要還是由三大核心部件組成 ， 一是光源 ， 二是物鏡系統 ， 三是工作臺 。
而其它非EUV光刻機 ， 也差不多 ， 主要也是由這三部分組成的 。
說真的 ， 在這三部分之中 ， 有一個部分 ， 可能被很多人忽略了 ， 特別是國內的網友們 ， 忽略的較多 。
那就是光學鏡頭 ， 不信大家看看相關信息 ， 更多的都是在講EUV光源 ， 又是這個技術 ， 那個突破的 ， 都說我們有了更好的解決方案 ， 不用ASML的那種錫珠產生EUV光源方式等 。
但事實上 ， 在光學鏡頭這里 ， 我們還差的還相當遠 。
目前EUV光刻機里面 ， 光學鏡頭只有一家供應商 ， 那就是蔡司 ， 全球只有他一家能夠制造出EUV光刻機使用的鏡頭 。
他造的鏡頭有多夸張？網上流傳一句話：“如果把鏡頭放大到一個地球那么大 ， 它上面只允許有一根頭發絲那樣的凸起” ， 這個技術 ， 全球只有它能夠達到 。
也正因為蔡司有這么牛 ， 所以早在10年前 ， ASML就覺得自己必須把蔡司拉上自己的戰車 ， 并且雙方利益必須一致 ， 才能確保自己地位 ， 所以ASML花了10億歐元 ， 收購了蔡司半導體約25%的股權 ， 并不斷的投資 ， 雙方成了利益共同體 ， 蔡司的EUV使用的光學鏡頭 ， 不對外供應 ， 全球僅供給ASML 。
并且不僅是在EUV光刻機上 ， ASML的幾乎所有的光刻機中 ， 都使用的是蔡司的鏡頭 ， 不僅如此 ， 日本的尼康、佳能的一些先進一點的光刻機上 ， 使用的也都是蔡司的鏡頭 。
按照機構的說法 ， 目前全球90%的芯片制造 ， 都依賴于蔡司提供的光學鏡頭 ， 越是先進的芯片 ， 越依賴蔡司的鏡頭 ， 所以大家也都稱蔡司的鏡頭 ， 是光刻機中的“上帝之眼” ， 如果你的芯片沒有被上帝之眼凝視 ， 那肯定說明你的芯片就不夠先進 。
所以 ， 如果我們要研發出EUV ， 自己搞定EUV光源只是其一 ， 還要搞定光學鏡頭 。
目前國內的光學鏡頭技術 ， 落后蔡司其實是非常遠的 ， 不管是在制造工藝 ， 還是精度、平整度等上面 ， 并且離蔡司的差距 ， 是多方面、多維度的 ， 根本就不在一個水平線上 ， 從代數來看 ， 可能是好多代的差別 。
雖然這幾年 ，國內在光學鏡頭方面也涌現出了一大堆的企業 ， 大家不斷的突破 ， 但更多的還是應用在手機、攝像頭鏡頭等上面 ， 這些相對簡單多了 ， 至于用于光刻機上面的這種光學器件 ， 幾乎就沒有 。
【中國研發EUV光刻機，繞不過的坎：光學鏡頭，也被稱“上帝之眼”】所以啊 ， 光學鏡頭 ， 在我們研發EUV光刻機中同樣重要 ， 別只盯著EUV光源了 ， 如果不搞定光學鏡頭 ， 也是制造不出EUV光刻機來的 。 甚至按照一些專業人士的說法 ， 其實目前我們連浸潤式光刻機的光學鏡頭 ， 都搞不定呢 ， 更別說EUV了 。
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