1、曝光量=照度×?xí)r間
2、照度由光圈決定，而時(shí)間由快門控制 。光圈大小與快門長(zhǎng)短決定了曝光量的多少 。因此，曝光量由光圈和快門共同控制 。
【曝光量是什么意思】3、在理想情況下，曝光劑量是一個(gè)固定參數(shù)，整個(gè)硅片都受到均勻一致的光輻照 。但在實(shí)際生產(chǎn)中，曝光機(jī)光源的能量可能會(huì)受到外界因素的影響而變化 。
4、劑量均勻的紫外光對(duì)光刻膠的曝光是非常關(guān)鍵的，光學(xué)光刻中的曝光控制是通過使用劑量監(jiān)控器在硅片表面測(cè)量紫外光強(qiáng)所獲得的 。曝光劑量在曝光場(chǎng)的不同位置測(cè)量并進(jìn)行劑量百分比均勻性的計(jì)算。
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