阿斯麥光刻機(jī)出貨信息
截至發(fā)稿，東方晶源尚未對阿斯麥的說法做出回應(yīng) 。
2021年8月，東方晶源曾在官網(wǎng)發(fā)布新聞稱，該公司作為國內(nèi)集成電路領(lǐng)域良率管理先鋒企業(yè)，成功榮獲第三批國家級專精特新“小巨人”企業(yè)稱號，其三款核心產(chǎn)品填補(bǔ)了國內(nèi)相關(guān)領(lǐng)域的空白，并且在產(chǎn)業(yè)化方面快速邁進(jìn)，是目前國內(nèi)唯一產(chǎn)線驗(yàn)證并實(shí)現(xiàn)訂單的產(chǎn)品，對我國半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)鏈安全具有戰(zhàn)略意義 。該公司還提到，東方晶源自成立以來堅(jiān)持以創(chuàng)新引領(lǐng)發(fā)展，申報(bào)國內(nèi)外發(fā)明專利145項(xiàng)，授權(quán)發(fā)明專利49項(xiàng)，軟件著作權(quán)14項(xiàng)，注冊商標(biāo)15項(xiàng) 。
東方晶源官網(wǎng)截圖
2021年9月，東方晶源披露，該公司完成新一輪數(shù)億元股權(quán)融資，本輪融資由賽領(lǐng)資本、深創(chuàng)投領(lǐng)投，眾多知名投資機(jī)構(gòu)聯(lián)合投資 ?！按溯喨谫Y將有助于東方晶源加快在集成電路前道電子束檢測、計(jì)算光刻系統(tǒng)等核心產(chǎn)品的研發(fā)進(jìn)程，加速在集成電路良率管理領(lǐng)域的整體布局 ?！?br />
【中企稱關(guān)鍵技術(shù)完全自研 光刻機(jī)巨頭ASML稱東方晶源可能侵權(quán)】圖源：東方晶源官網(wǎng)
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