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優(yōu)質(zhì)臺(tái)式高斯計(jì)廠家,程控臺(tái)式高斯計(jì)( 三 )

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真空到達(dá)2×10-3以后才能開電子槍電源 。二、DEF-6B電子槍電源柜的操作1、總電源2、真空鍍膜設(shè)備同時(shí)開電子槍控制Ⅰ和電子槍控制Ⅱ電源：汽車玻璃鍍膜按電子槍控制Ⅰ電源、延時(shí)開關(guān)，延時(shí)、電源及保護(hù)燈亮，三分鐘后延時(shí)及保護(hù)燈滅，若后門未關(guān)好或水流繼電器有故障，保護(hù)燈會(huì)常亮 。3、開高壓，高壓會(huì)達(dá)到10KV以上，調(diào)節(jié)束流可到200mA左右，簾柵為20V/100mA，燈絲電流1.2A，偏轉(zhuǎn)電流在1~1.7之間擺動(dòng) 。
三、關(guān)機(jī)順序1、關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵 。2、待分子泵顯示到50時(shí)，依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵，這期間約需40分鐘 。3、到50以下時(shí)，再關(guān)維持泵 。鍍膜機(jī)常見故障及處理方法檢測(cè)不到掩膜夾具翻轉(zhuǎn)信號(hào)：1、檢查翻面信號(hào)源位置2、將翻面輸入信號(hào)人工短接，使用翻面檢測(cè)功能，計(jì)算機(jī)能檢測(cè)到信號(hào)時(shí)，證明問題在翻面控制開關(guān)上，根據(jù)情況做相應(yīng)處理 。
檢測(cè)不到信號(hào)首先檢查線路，然后更換控制卡 。掩膜夾具翻轉(zhuǎn)不穩(wěn)定:1、檢查翻板的初始位置是否符合時(shí)機(jī)2、檢測(cè)翻面控制開關(guān)工作是否穩(wěn)定，可用指針萬(wàn)用表跟蹤監(jiān)測(cè) 。3、檢查翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)動(dòng)作是否靈活可靠4、檢查翻面信號(hào)次數(shù)設(shè)置5、檢查旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)是否與鐘罩內(nèi)壁有磨擦現(xiàn)象6、檢測(cè)旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)在轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)的穩(wěn)定性在同一掩膜夾具頻率散差大:1. 檢查晶片本身是否散差大2. 檢查膜層修正板位置是否變動(dòng),重新調(diào)節(jié)修正板3．檢查一下?lián)醢逶陂_、關(guān)時(shí)是否完全遮擋住鉬舟4．檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟5、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟鍋與鍋之間頻率散差大:1、觀察一下監(jiān)控片是否存在跳頻現(xiàn)象2、反復(fù)測(cè)量統(tǒng)一監(jiān)控片觀察振蕩器的穩(wěn)定性（不超過75Hz）3、檢查冷卻水是否通暢4、檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟5、監(jiān)控片選用是否符合要求，建議采用我公司的監(jiān)控片鍍膜頻率不停止:1、檢查頻率參數(shù)設(shè)置是否正確2、鉬舟電流表是否有指示3、鉬舟中是否有銀4、監(jiān)控片是否跳頻5、修正系數(shù)是否錯(cuò)誤6、在出現(xiàn)非正常退后是否更換過監(jiān)控片測(cè)試不到頻率:1、更換一下監(jiān)控片2、檢查一下測(cè)試彈片是否變形3、用一只5MHz的晶體直接插入振蕩器輸入端測(cè)量頻率，若有頻率證明是探頭問題，若無(wú)頻率，用計(jì)數(shù)器測(cè)量一下振蕩器輸出頻率是否異常，無(wú)正常輸出證明振蕩器有問題，有正常輸出但計(jì)算機(jī)無(wú)顯示證明控制卡有問題控制閥均不動(dòng)作:1. 檢查5V電源是否有輸出，是否接好2. 檢查固態(tài)繼電器板上電源公共端是否有電控制閥個(gè)別不動(dòng)作1、檢查相應(yīng)的固態(tài)繼電器是否有輸出未達(dá)到真空度就工作:1、數(shù)字真空計(jì)出現(xiàn)不正常數(shù)字，且30秒內(nèi)無(wú)變化，例如0.00-4（國(guó)產(chǎn)真空計(jì)常見）現(xiàn)象2、指針表在真空計(jì)打開30秒后，黑色指針仍不擺動(dòng)監(jiān)控片使用原則1、監(jiān)控片表面要清洗干凈2、監(jiān)控片要隨用隨鍍，空氣中暴露12小時(shí)以上禁止使用3、監(jiān)控片及其表面存在存在缺陷的禁止使用4、使用過程中要記錄好使用批次，嚴(yán)禁出現(xiàn)新舊混用5、監(jiān)控片反復(fù)使用壽命為3次 。
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