這對(duì)整個(gè)光路的系統(tǒng)的要求是非常非常非?？量痰?。如下圖所示，這是一個(gè)光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)圖，極紫外光刻需要經(jīng)過(guò)很多次的反射才能最終成為可用的光波，如其中有一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)問(wèn)題，那么就會(huì)功虧一簣，這對(duì)于反射玻璃表面的平整度以及材料的反射率都提出了極高的要求 。而這些部件目前只有蔡司一家可以生產(chǎn)，蔡司生產(chǎn)的的多層膜反射鏡表面粗糙度可以控制在海拔1mm以內(nèi)，反射率可以達(dá)到70%左右，是目前地球上平整度最高，反射率最高的反射鏡了 。
【萊卡與蔡司哪個(gè)好,蔡司鏡頭和萊卡哪個(gè)好】LPP EUV 光源和多層膜反射光學(xué)系統(tǒng)，DUV光刻曝光鏡頭 來(lái)自蔡司大家從這一點(diǎn)就可以看出，蔡司和徠卡根本就不是一個(gè)級(jí)別的對(duì)手 。VIVO 蔡司
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