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光刻膠是什么材料

【光刻膠是什么材料】

光刻膠是什么材料


光刻膠是一種有機(jī)化合物,被紫外光曝光后在顯影溶液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化 。硅片制造中所用的光刻膠以液態(tài)涂在硅片表面,而后被干燥成膠膜 。儲(chǔ)存時(shí)間短保質(zhì)期短暫,有效期僅90天,粘附性,抗蝕性,耐熱穩(wěn)定性、抗刻蝕能力,具有比較小的表面張力,使光刻膠具有良好的流動(dòng)性和覆蓋 。

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