能不能用X射線做光刻機(jī)？
【光刻機(jī)是干什么用的,也造不出光刻機(jī)】
能不能用X射線做光刻機(jī) ， 答案是肯定可以的 ， 比如比較目前晶圓行業(yè)主流的極紫外光刻（Extreme Ultraviolet Lithography）實(shí)質(zhì)上就是軟X射線光刻技術(shù) ， 首先解釋一下什么是軟X射線 。X射線也就是我們常說(shuō)的倫琴射線 ， 它是波長(zhǎng)介于紫外線與γ射線 之間的一種電磁輻射波 ， 通常波長(zhǎng)約在0.01~100A之間 ， 而波長(zhǎng)在10～100A之間的稱為軟X射線 。
傳統(tǒng)的基于光學(xué)系統(tǒng)的成像式光刻機(jī)在工藝上關(guān)鍵線寬上受到系統(tǒng)的解像力（也就是系統(tǒng)的成像分辨率）限制 ， 已經(jīng)成為了集成電路諸如晶圓行業(yè)設(shè)計(jì)上的一大難題 。之前比較常見的32以及45nm工藝由于光源波長(zhǎng)的限制 ， 必須采用浸潤(rùn)式系統(tǒng)進(jìn)行 ， 比如193nm液體浸潤(rùn)式系統(tǒng) 。因此在晶圓不斷集成化極致化的背景下衍生了具有更高分辨率的EUV光刻機(jī) 。
推薦閱讀
- tgb,歐洲杯南昌看球哪里好
- 第六感論壇,女人的第六感準(zhǔn)嗎
- 是德,測(cè)試自動(dòng)化和測(cè)量設(shè)備
- 三星S8那些事你確定不進(jìn)來(lái)看看,aqf7上一個(gè)版本是什么
- 先刮膩?zhàn)舆€是先裝門
- 標(biāo)間是一張床還是兩張床
- 北京2022年稅務(wù)師考試時(shí)間是什么時(shí)候 2022年出什么手機(jī)
- 目前口碑最好的電視機(jī)是哪款 國(guó)產(chǎn)手機(jī)口碑最好的手機(jī)
- 東莞二手房賣房流程 東莞二手房買賣流程是怎樣的
- 樓房架空層是什么意思計(jì)算面積嗎 樓房架空層是什么意思