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壓敏電阻式進(jìn)氣管絕對(duì)壓力傳感器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及工作原理

【壓敏電阻式進(jìn)氣管絕對(duì)壓力傳感器的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)及工作原理】 壓敏電阻式進(jìn)氣管絕對(duì)壓力傳感器主要由絕對(duì)真空室、硅片和ic放大電路組成 。硅片的一側(cè)是絕對(duì)真空室,而另一側(cè)承受進(jìn)氣管內(nèi)的壓力,在此壓力作用下使硅片產(chǎn)生變形;


由于絕對(duì)真空室的壓力是固定的(絕對(duì)壓力為0),進(jìn)氣管絕對(duì)壓力變化時(shí),硅片的變形量不同;硅片是一個(gè)壓力轉(zhuǎn)換元件(壓敏電阻),其電阻值隨其變形量而變化,導(dǎo)致硅片所處的電橋電路輸出電壓發(fā)生變化,電橋電路輸出的電壓(很?。┙?jīng)ic放大電路放大后輸送給ecu 。

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