芯片專家:中國當初囤積大量進口光刻機,為的就是如今與美國競爭

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【芯片專家:中國當初囤積大量進口光刻機,為的就是如今與美國競爭】芯片專家:中國當初囤積大量進口光刻機,為的就是如今與美國競爭

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前沿導讀半導體行業觀察者、荷蘭專業記者馬克·海金克 , 在多年前就已經開始針對ASML以及全球的光刻機產業進行深度的跟蹤報道 。 他將ASML近40多年的技術發展進行了總結提煉 , 并且借助當下中美兩國在芯片技術上面的激烈博弈 , 公開對芯片產業以及光刻機產品發表了權威看法 。

未雨綢繆荷蘭的ASML , 最開始只是飛利浦公司的一個分支部門 , 涉及半導體設備的研發 。 后來飛利浦公司將其獨立出來 , 與ASM公司進行了合并 , 成立了ASML公司 , 專門負責光刻機產品的技術研發 。
在ASML沒有發展起來之前 , 國際光刻機的霸主是美國的GCA , 日本尼康是GCA光刻機鏡頭的供應商 。 但是后來美國GCA打算發展全自研的光刻機設備 , 于是便將尼康從供應商的名單當中去除 。
尼康意識到了問題的嚴重性 , 便通過日本的其他產業鏈公司購買了一臺美國GCA研發的光刻機產品 , 通過逆向工程將光刻機設備的制造工藝推導出來 , 從而開發出了尼康自主的光刻機產品 。

在后來的競爭當中 , 日本尼康的光刻機產品獲得了市場的青睞 , 而美國的光刻機產品開始淡出市場 。 隨著美國跟日本在半導體產業上面的競爭 , 日本尼康公司被美國視為眼中釘 , 想要將尼康打落神壇 。
荷蘭的ASML成為了美國大力看重的企業 , 并且在英特爾和美國政府的推動下 , 成立EUV LLC技術聯盟 , 集合頂級的科研機構研發EUV光刻技術 , ASML成為了技術聯盟中最后一個環節的設備制造商 。
在開發EUV光刻機的過程中 , 英特爾、臺積電、三星等巨頭芯片企業大量給ASML注資 , 這種既是客戶又是股東的利益綁定 , 將ASML推到了一個其他企業無法企及的高度 , 其年度研發資金高達32億歐元以上 。

在EUV光刻機研發完成 , 并且投入市場使用之后 , 全球芯片產業迎來了快速發展階段 。 與此同時 , 中國芯片企業對于光刻機的需求大量增加 , 而美國也開始了針對中國企業的制裁方案 。
美國最開始對荷蘭政府施壓 , 禁止其允許ASML向中國出口EUV光刻機設備 , 而老舊的DUV設備不受影響 。

在無法獲得EUV光刻機的情況下 , 中國芯片企業開始大量采購ASML的DUV光刻機 。
據海金克的深入調查表示 , 中國總共擁有800多臺來自于ASML的進口光刻機產品 。 這些設備有一半掌握在中國芯片企業的手中 , 并且絕大部分都在中芯國際旗下的晶圓廠中 。 另外一半則是被三星、海力士、臺積電的工廠所買走 。
在全球芯片產業穩步發展的過程中 , 中國市場卻開始源源不斷的大量囤積進口光刻機 , 這引起了美國政府的高度警覺 。
儲備攻堅力量據ASML前CEO彼得·溫寧克表示 , 美國對AMSL的出口限制 , 并不會影響其公司的正常運轉 , 畢竟不能跟中國大陸市場做生意 , 不代表不可以跟其他地方做生意 。 但是中國芯片企業有著其他企業沒有的韌性和堅毅性 , 并且中國企業一定會先開始攻克老舊的DUV工藝設備 , 然后再發展先進的EUV技術設備 。

ASML的首席技術官馬丁·范登布林克 , 在2018年至2019年期間來到了中國 , 跟中國的芯片企業進行技術訪問 。
馬丁也來到了中國唯一光刻機的制造商上海微電子公司進行訪問 , 畢竟上海微電子公司與ASML是同行 , 馬丁想要了解中國光刻機產業目前面臨的困難 , 以及中國企業所掌握的技術方法 。
雖然上海微電子的設備產品并不太吸引馬丁 , 因為這些產品如果放在馬丁的ASML公司 , 只能算是被淘汰的技術 , 但是馬丁依然被中國企業清晰的發展思路、不斷攻克難題的韌性所震撼 。

馬丁在后來的專訪中表示 , 雖然上海微電子的設備被卡在了90nm技術上 , 但是中國企業在研究更好的技術 , 比如28nm的浸潤式系統 , 只不過這種技術的研發難度較大 , 中國企業需要付出更多的努力 。
但是美國的制裁可以算作一個決定性因素 , 阻止中國企業采購進口光刻機 , 那么中國企業會選擇使用上海微電子的設備 , 這給了上海微電子公司極大的市場支持 , 依靠這個支持力度 , 中國企業會不斷優化自己的產品 , 從而順理成章的突破曾經的技術瓶頸 。

而那些曾經采購的進口光刻機 , 也被中國企業高效率的利用了起來 。
2022年 , 中芯國際開始使用曾經從ASML進口的DUV光刻機設備制造等效7nm的芯片 。
2023年 , 華為推出了采用中芯國際7nm技術制造的5G芯片手機 。

2024年 , 在意識到了中國企業的意圖之后 , 美國政府再次強制性的對荷蘭政府以及ASML公司進行干預 , 攔截了所有ASML出口給中國市場的DUV光刻機訂單 , 荷蘭政府被迫撤銷了幾項ASML對華出口許可 。
中國企業在自主設備和進口設備上面雙線發展 , 并且均取得了不錯的成績 。
資深半導體觀察員馬克·海金克 , 曾公開對中國芯片產業進行了評價:中國的科技發展常常以一種難以預測 , 但是卻極具創造力的方式進行創新 。

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