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光刻機(jī)|外媒：國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)提前了？

芯片光刻機(jī)阿斯麥爾

光刻機(jī)|外媒：國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)提前了？

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光刻機(jī)|外媒：國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)提前了？

【光刻機(jī)|外媒：國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)提前了？】芯片能夠一直向微縮方向前進(jìn) ， 5nm工藝量產(chǎn)后 ， 還能繼續(xù)向3 nm、2 nm發(fā)展 ， 光刻機(jī)功不可沒(méi) 。 尤其是EUV光刻機(jī) ， 更是高端制程芯片制程中最關(guān)鍵的核心設(shè)備 。
可以說(shuō) ， 光刻機(jī)決定了芯片工藝的技術(shù)水平 。 我們要在芯片上不被卡脖子 ， 就必須突破光刻機(jī) 。 其實(shí) ， 相關(guān)機(jī)構(gòu)也一直在努力 ， 近日又傳來(lái)了國(guó)產(chǎn)沉浸式光刻機(jī)消息 。

光刻機(jī)按光源來(lái)分 ， 主要有極紫外EUV、深紫外DUV和紫外UV三類 ， 基本就是高端、中端和低端 。 低端的i線和g線等光刻機(jī)我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn) ， 高端EUV也在努力 。

目前 ， 國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)還處于DUV階段 。 而DUV光刻機(jī)也分三類 ， 即KrF、ArF、ArFi 。 前兩種已經(jīng)突破 ， 國(guó)產(chǎn)最高可做到90nm ， 可滿足國(guó)內(nèi)重要機(jī)構(gòu)使用 ， 不受國(guó)外限制 。
那么 ， 現(xiàn)在我們正在努力的就是ArFi光刻機(jī) ，多出的這個(gè)i代表加入了沉浸式技術(shù) 。

這個(gè)技術(shù)相當(dāng)了不得 ， 這是ASML能夠超過(guò)原來(lái)的光刻機(jī)巨頭尼康和佳能的關(guān)鍵 。 當(dāng)時(shí)光刻機(jī)最高做到193nm波長(zhǎng) ， 也就是ArF光刻機(jī) ， 再往下突破就遇到了瓶頸 。

尼康和佳能當(dāng)時(shí)堅(jiān)持繼續(xù)原來(lái)的干式技術(shù) ， 而此時(shí)臺(tái)積電專家林本堅(jiān)提出了一種沉浸式技術(shù) ， 即通過(guò)水為介質(zhì)實(shí)現(xiàn)更短波長(zhǎng) ， 即濕式技術(shù) ， 但尼康和佳能根本沒(méi)理會(huì) 。
而當(dāng)時(shí)還較弱的ASML卻大膽采用了這技術(shù) ， 從此實(shí)現(xiàn)超越 ， 獲得了較大的市場(chǎng) 。

因此 ， ArFi沉浸式光刻機(jī)是個(gè)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn) 。 一旦能夠?qū)崿F(xiàn)突破 ， 那么就等于邁進(jìn)了DUV光刻機(jī)中的高端行列 ， 盡管只是入門級(jí)別 ， 但再往下更新迭代 ， 就會(huì)非常容易了 。

那么 ， 目前國(guó)產(chǎn)沉浸式光刻機(jī)的研發(fā)進(jìn)展如何呢？之前有消息表示 ， 將于今年年底前交付 。 最近又有相關(guān)媒體爆料 ， 國(guó)產(chǎn)沉浸式光刻機(jī)已實(shí)現(xiàn)突破 ， 將會(huì)很快到來(lái) 。
對(duì)此 ， 有外媒表示 ， 不是年底前嗎 ， 難道提前了？具體情況會(huì)不會(huì)真的如此呢？

首先 ， 國(guó)產(chǎn)核心部件陸續(xù)突破ArFi沉浸式光刻機(jī)最關(guān)鍵的就是這個(gè)沉浸式技術(shù) ， ArF波長(zhǎng)為193nm ， 加入沉浸式技術(shù)后就可以達(dá)到134 nm ， 波長(zhǎng)越短光刻機(jī)就越先進(jìn) ， 比如EUV波長(zhǎng)是13.5 nm 。
近日好消息傳來(lái) ， 中企在浸液控制系統(tǒng)上取得了重大突破 。 浸液系統(tǒng)是浸沒(méi)式光刻機(jī)的四大核心部件之一 ， 這就解決了國(guó)產(chǎn)ArFi沉浸式光刻機(jī)的幾大核心技術(shù)之一 。
還有雙工件臺(tái)、曝光光學(xué)系統(tǒng)、投影物鏡等也都已突破 ， 目前應(yīng)該是在合圍磨合 。

其次 ， ASML行動(dòng)有相關(guān)征兆對(duì)于國(guó)產(chǎn)先進(jìn)光刻機(jī)的進(jìn)展 ， 恐怕ASML了解的更透徹 ， 畢竟人家才是專業(yè)的 。 因此 ， 從ASML的近期行動(dòng) ， 我們可以看出征兆 。 對(duì)于國(guó)產(chǎn)光刻機(jī) ， 已改口不是不可能 。
最近有個(gè)大的變化就是 ， 今年第一季度 ， 我們大陸成了ASML的第一大出貨地 ， 占比高達(dá)34% 。 這說(shuō)明 ， ASML在有意向大陸加大光刻機(jī)出貨量 ， 這極有可能在傾銷 。

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