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人機大戰|光刻機風云再起:東方晶源深夜回應ASML,EUV光刻機“變味”了!

人機大戰|光刻機風云再起:東方晶源深夜回應ASML,EUV光刻機“變味”了!

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近日 , 突然被一則光刻機巨頭ASML , 高調指責中國高科技企業東方晶源侵犯知識產權的消息刷屏 , 當看到這則消息的第一反應就是 , 東方晶源是誰?

在我們的印象中 , 中國在從事光刻機設備研發的企業中 , 似乎并沒有看到東方晶源的身影 , 而且目前我們國產的光刻機 , 最先進的機型 , 也只是來自上海微電子的SSA600/20 , 但也只是支持到90納米 。
因此要說在光刻機上會侵犯ASML的知識產權 , 這事有點匪夷所思 。

經過了解得知 , 東方晶源并不是一家光刻機的研發生產企業 , 但是它提供的服務 , 卻與芯片的生產制造有著密切的關系 。
簡單來說 , 東方晶源的主營業務 , 就是幫助芯片生產企業提高良品率 。
那么問題來了 , 為什么ASML會突然對這樣一家企業揮出“大棒”呢?要知道ASML已經通知客戶 , 不要與東方晶源進行合作 , 指責東方晶源侵權 。

更為關鍵的是 , ASML在發起了這一系列動作時 , 其并沒有任何證據來證明它的主張 , 即ASML只是懷疑東方晶源侵權 。
就在ASML揮出“大棒”之后 , 東方晶源很快在深夜進行了回復 , 并且正式發布聲明 , 該消息不實 , 而且東方晶源還表示 , 對于不實消息 , 將保留追究其法律責任的權利 。

很顯然 , 東方晶源并沒有被ASML所嚇倒 。

那么更大的問題來了 , 為什么ASML在沒有任何證據的情況 , 就急于阻礙東方晶源的發展呢?
答案 , 或許就在東方晶源的主營業務上 。
上文中我們提到 , 東方晶源的主營業務是幫助芯片廠家提升良品率 , 目前東方晶源已經掌握了OPC、EBI和CD-SEM三大產品 , 可以說在良率管理領域有著深厚的功底 。

那么 , 這又會對ASML產生什么影響呢?其實影響很大 , 而且已經影響到了ASML的“鎮店之寶” , 也就是EUV光刻機 。
說到這里 , 我們就有必要將臺積電的7納米工藝拿來進行說明 , 臺積電在2018年成功量產了7納米工藝 , 但是第一代產品采用的依然是DUV光刻機 , 第二代工藝才是采用的EUV光刻機 , 那么為什么臺積電不繼續采用DUV光刻機呢?
其中的關鍵 , 就是我們上面說的良品率 。

【人機大戰|光刻機風云再起:東方晶源深夜回應ASML,EUV光刻機“變味”了!】采用DUV光刻機雖然可以生產7納米芯片 , 但是需要很多次的重復曝光 , 曝光次數越多 , 對于良品率的控制就越難 , 相應的成本就會越高 。
但采用EUV光刻機后 , 就可以大幅減少曝光的次數 , 相應的就從側面提升了良品率 。
有人會說 , EUV光刻機要比DUV貴不少 , 用EUV光刻機生產7納米芯片豈不是成本更高了?其實對于芯片制造工廠來說 , 流水線上的光刻機就像“印鈔機” , 機器的采購價格往往不是最重要的因素 。

而在臺積電5納米工藝的初期 , 雖然也采用了EUV光刻機 , 但良品率也才只有50% , 后來經過繼續提升良品率才得以規模量產 , 可見控制良品率是多么的關鍵 。
因此從這一點上我們就看到 , 東方晶源的作用有多么重要 , 這次ASML對東方晶源這么在意 , 想必東方晶源已經在良品率控制方面做得非常優秀了 。

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