
1、光刻機(jī)制作芯片的過程,基本和“沖印照片”一樣 。假設(shè)拍的是風(fēng)景,膠片上會(huì)有曝光痕跡,先要在暗室里顯影,讓風(fēng)景在膠片上顯示出來 。然后在紅光下通過放大機(jī),把膠片上的風(fēng)景投射到相紙上,讓相紙曝光 。再通過相紙的顯影、定影、烘干得到最終的照片 。除了風(fēng)景之外,“照片沖印”需要有膠片,有光源、放大機(jī)、相紙 。
2、對(duì)光刻機(jī)來說,所謂“風(fēng)景”就是設(shè)計(jì)好的集成電路圖(IC),“膠片”就是一塊石英板(光罩),用來記錄集成電路圖,“相紙”就是硅晶圓,“放大機(jī)”就相當(dāng)于光刻機(jī) 。
【光刻機(jī)原理 進(jìn)來看看】3、所不同的是,洗照片是放大,把小膠片放大到相紙上,光刻機(jī)是縮小,把電路圖縮小到晶圓上 。
4、在光刻機(jī)領(lǐng)域,有三家國際大牌:荷蘭ASML(艾斯摩爾),日本Nikon(尼康),日本Canon(佳能) 。但高端光刻機(jī)市?。衫糀SML是無可爭(zhēng)議的世界霸主,把第二名都甩得很遠(yuǎn),因?yàn)榧夹g(shù)難度太高、需要的投資太大 , 尼康、佳能已經(jīng)放棄EUV光刻機(jī)的研發(fā) 。
